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本发明公开了一种用于测试石英过滤器流量的装置及其方法，涉及石英过滤器流量测试技术领域，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源、第一减压器、缓冲罐、过滤器、精密减压器、压力变送器、电磁阀、调节阀、电子流量计、玻璃转子流量计以及石英过滤器，通过各元...
该专利属于辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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