本申请涉及工业半导体技术领域，公开了一种控制板和控制方法，应用于紫外光固化设备，该控制板包括隔离变压器、电源变换模块、灯丝电压输出模块、面板通讯模块、主回路断路器控制模块和微处理器；面板通讯模块用于通过人机交互向微处理器发送设备开机启动或设备关机操作的指令，微处理器则通过主回路断路器控制模块控制紫外光固化设备中的主回路断路器的闭合或断开，实现对设备的开关机操作；本申请通过将设备功能调度、闭环控制及内外部通讯全部集成至该控制板上，利用该控制板实现对整个设备的控制，有利于缩短系统响应时间，以及缩小紫外光固化设备的体积，降低了设备机箱内部结构设计的难度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工业半导体，尤其涉及一种控制板和控制方法。
技术介绍
1、紫外光固化设备在半导体制造中扮演着重要角色，主要用于光刻和微电子封装等关键环节。光刻是制作集成电路的关键步骤。紫外光刻机通过将电路图案转移到硅片上，形成微电子器件的基础。在微电子封装过程中，紫外光固化设备用于固定和密封芯片，确保其稳定性和可靠性。紫外光固化设备利用紫外光照射使光刻胶发生化学反应，从而实现微细图案的转移和固化。具体来说，紫外光照射到光刻胶上，引发光引发剂产生自由基或阳离子，进而引发单体和预聚物的聚合交联反应，最终达到固化的效果。
2、紫外光固化设备包括用于产生紫外光的灯头以及用于对灯头进行控制的控制器。灯头是利用内部磁控管产生高功率的射频微波能量为紫外灯供能，控制器为灯头提供高压加速电压和低压灯丝预热电压，同时向灯头传递控制信号，调节灯头状态。随着技术的进步和环保要求的提高，紫外光固化设备正朝着高效、环保的方向发展。
3、但是，现有紫外光固化设备的体积较大，设备内部器件分布相对分散，各模块功能分散，不利于集中管理。
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【技术保护点】
1.一种控制板，应用于紫外光固化设备，其特征在于，所述控制板包括微处理器（U）、面板通讯模块（J）、灯丝电压输出模块（H）、主回路断路器控制模块（K）；
2.如权利要求1所述的控制板，其特征在于，还包括灯头检测通讯模块（G）；其中，所述微处理器（U）通过所述灯头检测通讯模块（G）反馈的所述灯头（100）的风压信号和温度信号，判断所述灯头（100）的工作状态是否满足第二预设条件；若满足，则通过所述主回路断路器控制模块（K）控制所述固化设备的主回路断路器闭合。
3.如权利要求2所述的控制板，其特征在于，还包括主回路电压电流反馈模块（L）和主回路功率驱动通讯模块（M）；...
【技术特征摘要】
1.一种控制板，应用于紫外光固化设备，其特征在于，所述控制板包括微处理器（u）、面板通讯模块（j）、灯丝电压输出模块（h）、主回路断路器控制模块（k）；
2.如权利要求1所述的控制板，其特征在于，还包括灯头检测通讯模块（g）；其中，所述微处理器（u）通过所述灯头检测通讯模块（g）反馈的所述灯头（100）的风压信号和温度信号，判断所述灯头（100）的工作状态是否满足第二预设条件；若满足，则通过所述主回路断路器控制模块（k）控制所述固化设备的主回路断路器闭合。
3.如权利要求2所述的控制板，其特征在于，还包括主回路电压电流反馈模块（l）和主回路功率驱动通讯模块（m）；其中，所述主回路电压电流反馈模块（l）向所述微处理器（u）实时反馈所述固化设备的高压直流电压信号和高压直流电流信号；所述微处理器（u）根据所述高压直流电压信号和高压直流电流信号计算实时功率，将所述实时功率与预设功率进行比较；若所述实时功率小于预设功率，则通过所述主回路功率驱动通讯模块（m）调整所述固化设备功率驱动器的输出电压增大；否则通过所述主回路功率驱动通讯模块（m）调整所述固化设备功率驱动器的输出电压减小。
4.如权利要求3所述的控制板，其特征在于，还包括远程控制通讯模块（n）；其中，所述远程控制通...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘啸尘，
申请(专利权)人：科恩工业大连有限公司，
类型：发明
国别省市：
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