【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米压印，具体涉及一种纳米压印方法。
技术介绍
1、在硬质衬底和硬质模板的纳米压印过程中，在硬质衬底上匀胶直接压印在硬质模板时，由于力的作用，且衬底为硬质衬底不具有形变能力，会存在着难以剥离脱模的情况。
2、现有技术中，解决的方式均为先通过pc等软质衬底复制硬质模板图案制作子模板，再通过子模板压印到硬质衬底上。但上述方式提高了工艺复杂度以及增加了成本。
3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种纳米压印方法，脱模更便捷且能够实现硬质衬底和硬质模板的直接纳米压印，减少了转印子模板的步骤，减少工艺流程，节约成本。
2、为了实现上述目的，本专利技术一具体实施例提供的技术方案如下：
3、一种纳米压印方法，包括：
4、提供衬底；
5、在所述衬底表面形成压印
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【技术保护点】
1.一种纳米压印方法，其特征在于，包括：
2.根据权热塑性弹性体薄膜层的厚度为纳米级。
3.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于，施压进行纳米压印的过程中，所述热塑性弹性体薄膜层因拉伸所产生的对压印胶的作用力小于压印胶对热塑性弹性体薄膜层的抵持力。
4.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于，所述热塑性弹性体薄膜层的材料包括苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物中的一种。
5.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于，所述衬底为硬质透明
【技术特征摘要】
1.一种纳米压印方法，其特征在于，包括：
2.根据权热塑性弹性体薄膜层的厚度为纳米级。
3.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于，施压进行纳米压印的过程中，所述热塑性弹性体薄膜层因拉伸所产生的对压印胶的作用力小于压印胶对热塑性弹性体薄膜层的抵持力。
4.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于，所述热塑性弹性体薄膜层的材料包括苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物中的一种。
5.根据权利要求1所述的纳米压印方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，韩伟博，褚浩宇，
申请(专利权)人：苏州新维度微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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