输送系统及其控制方法、半导体制造设备技术方案

本发明专利技术提供一种输送系统及其控制方法、半导体制造设备，输送系统的控制方法包括：获取天车的运行时间，基于运行时间，得到一预设时间；在当批晶圆完成加工并到达解锁位之前，提前预设时间向天车发送呼叫信号；基于呼叫信号，天车由待车位向解锁位运行，并在到达解锁位后，将当批晶圆输送至下一机台；同时，另一天车将下一批晶圆输送至解锁位，以进行接续生产；其中，预设时间不大于运行时间。如此配置，通过提前向天车发送呼叫信号，在当批最后一片晶圆加工的同时，天车同步向解锁位移动，大幅减短了机台停机等待天车的时间，同时不需要对已有的线路规划进行调整，只需改变呼叫天车的时序即可，便于操作且能够有效提升机台的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产领域，尤其是一种输送系统及其控制方法。

技术介绍

1、以半导体生产制程中的刻蚀工艺为例，刻蚀的目的是将光刻得到的光刻胶图形转移到晶圆表面的薄膜上，即利用光刻胶膜的覆盖和保护作用，以化学反应或物理作用的方式去除没有光刻胶保护的薄膜，完成图形的转移。

2、为保证同批次晶圆的一致性，目前刻蚀工艺采用的跑货模式为一个晶圆输送机构对应一个工艺腔，即采用同一工艺腔完成同一批次的晶圆的刻蚀。这种生产模式会重复浪费时间在片盒装载和卸载的过程中，当同一批次的最后一个晶圆完成生产后，当批晶圆需先从机台中退出且与机台完成解锁，然后让oht(overhead hoist transport，空中吊举式无人搬运车，简称天车)吊走当批晶圆后，才能吊来下一批晶圆以接续生产，每次需要换批生产时就需要重复片盒卸载，片盒吊走，新片盒吊来，新片盒装载这四个动作，在此过程中，机台需要一直等待，严重影响了机台的生产效率。

3、基于此，如何降低换批生产时的机台等待时间，以提升机台的生产效率成为了本领域技术人员需要解决的技术问题。p>

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【技术保护点】

1.一种输送系统的控制方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述运行时间包括标准运行时间和/或实时运行时间；

3.如权利要求2所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述运行时间为所述标准运行时间与所述实时运行时间之中的较小值。

4.如权利要求1所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述输送系统的控制方法还包括：

5.如权利要求4所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述预设时间包括：所述机台发出所述动作指令后的剩余加工时间，或，所述机台发出所述动作指令后的剩余加工时间与所述预定时间的差值。

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【技术特征摘要】

1.一种输送系统的控制方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述运行时间包括标准运行时间和/或实时运行时间；

3.如权利要求2所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述运行时间为所述标准运行时间与所述实时运行时间之中的较小值。

4.如权利要求1所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述输送系统的控制方法还包括：

5.如权利要求4所述的输送系统的控制方法，其特征在于，所述预设时间包括：所述机台发出所述动作指令后的剩余加工时间，或，所述机台发出所述动作指令后...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彦铨，陈颖儒，
申请(专利权)人：重庆芯联微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：