温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种输送系统及其控制方法、半导体制造设备，输送系统的控制方法包括：获取天车的运行时间，基于运行时间，得到一预设时间；在当批晶圆完成加工并到达解锁位之前，提前预设时间向天车发送呼叫信号；基于呼叫信号，天车由待车位向解锁位运行，并在到...
该专利属于重庆芯联微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆芯联微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。