【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体集成电路制造，涉及一种伯努利吸盘的控制系统及方法。
技术介绍
1、随着半导体晶圆双面清洗工艺的发展，基于机械夹持的固定方式逐渐被淘汰。一种伯努利吸盘利用晶圆与吸盘间高速气流产生的负压差，实现了晶圆的非接触悬浮夹持。通过将吸盘喷嘴的倾斜角度优化至15°-30°并控制喷出气体的流速为5m/s至15m/s，该吸盘可维持10pa-50pa的吸附压强，使晶圆的悬浮高度稳定在50μm-200μm范围内。相较于机械夹持，该技术将接触面积缩减98％以上，仅通过边缘定位触点实现固定，有效规避了表面损伤风险。
2、然而，现有伯努利吸盘存在以下局限：(1)依赖固定气流量控制，液体分布不均或气流扰动易引发晶圆局部波动；(2)无法实时侦测液体分布与气流波动，且缺乏对压力波动的动态响应；(3)喷射气体的压力调节需要频繁的人工干预。
3、因此，如何提供一种伯努利吸盘的控制系统及方法以实时监测晶圆的悬浮状态，及时调节喷射气体的压力，确保晶圆悬浮高度的稳定，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要问题。
4、应该注意，...
【技术保护点】
1.一种伯努利吸盘的控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于，还包括应急系统，所述应急系统包括：
3.根据权利要求2所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于：所述应急气腔的外边缘与所述吸盘中轴线之间的距离小于所述主气腔的环形部外边缘与所述吸盘中轴线之间的距离。
4.根据权利要求2所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于：所述吸盘上表面设有保护凹槽，所述位移传感器设置于所述保护凹槽的底部，且所述保护凹槽位于所述第二圆周所围成的区域内。
5.根据权利要求1所述的伯努利吸盘的控制系统，...
【技术特征摘要】
1.一种伯努利吸盘的控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于，还包括应急系统，所述应急系统包括：
3.根据权利要求2所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于：所述应急气腔的外边缘与所述吸盘中轴线之间的距离小于所述主气腔的环形部外边缘与所述吸盘中轴线之间的距离。
4.根据权利要求2所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于：所述吸盘上表面设有保护凹槽，所述位移传感器设置于所述保护凹槽的底部，且所述保护凹槽位于所述第二圆周所围成的区域内。
5.根据权利要求1所述的伯努利吸盘的控制系统，其特征在于：所述卡盘与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖振凯，
申请(专利权)人：重庆芯联微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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