应用于传送窗口的机械手臂及装载系统技术方案

技术编号:43988894 阅读:23 留言:0更新日期:2025-01-10 20:10
本发明专利技术公开了应用于传送窗口的机械手臂及装载系统,具有肩部关节中心、肘部关节中心和腕部关节中心,包括:至少四个沿水平方向并列设置的动力源;手臂本体,包括大臂、小臂、机械夹爪和动力轴,所述动力轴包括位于轴体两端的动力输入部和动力输出部,所述动力输入部与所述动能组件的至少四个所述输出端传动连接;传动组件,与所述动能输出部传动连接;传递的动能分别用于驱动所述大臂围绕所述肩部关节中心沿水平方向旋转、驱动所述小臂围绕肘部关节中心沿水平方向旋转、驱动所述机械夹爪围绕腕部关节中心沿水平方向旋转以及驱动所述机械夹爪夹取晶圆传送盒。采用上述方案,实现了在传送窗口内的多角度大扭矩移动和整体安装空间限制的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体晶圆取放设备,尤其涉及应用于传送窗口的机械手臂及装载系统


技术介绍

1、在半导体的制造过程中,晶圆输送对集成电路制造至关重要,为了确保晶圆在不同的制程间运送时的品质,避免晶圆受到尘粒或其它污染,越来越多的运送工作采用标准的运送容器,即采用了标准机械界面(standard mechanical interface,简称smif)技术,该系统是通过明显减少流过晶圆的尘粒,来降低尘粒对晶圆的污染,该效果是通过在机械方面保证晶圆输送,存储以及多数制程中,晶圆周围的气体相对晶圆保持静止,以及外部环境中的尘粒,不会进入晶圆环境来实现的,smif技术以“隔离技术”概念为中心,所谓隔离技术旨在通过将晶圆封闭在一个超洁净的环境中,同时放宽对这个封闭环境以外的洁净度要求来防止产品被污染。

2、smif由三部分组成,用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱,及smif晶圆盒,用来打开smif晶圆盒的输入输出装置,及smif装载端口,以及通过工艺系统实现装载端口整合的洁净室,smif的工作方式通常如下:操作人员或自动化材料加工系统将s本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.应用于传送窗口的机械手臂(1),具有肩部关节中心(11)、肘部关节中心(12)和腕部关节中心(13),其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,至少四个所述动力源(14)包括并列设置的第一电机(141)、第二电机(142)、第三电机(143)和第四电机(144),所述第一电机(141)的输出轴与所述动力轴(16)同轴设置,所述第二电机(142)、所述第三电机(143)和所述第四电机(144)具有位于不同高度的输出端。

3.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,还包括升降座(145),至少四...

【技术特征摘要】

1.应用于传送窗口的机械手臂(1),具有肩部关节中心(11)、肘部关节中心(12)和腕部关节中心(13),其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,至少四个所述动力源(14)包括并列设置的第一电机(141)、第二电机(142)、第三电机(143)和第四电机(144),所述第一电机(141)的输出轴与所述动力轴(16)同轴设置,所述第二电机(142)、所述第三电机(143)和所述第四电机(144)具有位于不同高度的输出端。

3.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,还包括升降座(145),至少四个所述动力源(14)设置在升降座(145)上与所述升降座(145)能够同步升降。

4.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述动能组件还包括驱动带轮组(146)和传动带轮组(147),所述驱动带轮组(146)包括与所述第二电机(142)传动连接的第一带轮(1461)、与所述第三电机(143)传动连接的第二带轮(1462)和与所述第四电机(144)传动连接的第三带轮(1463);

5.根据权利要求4所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述动力轴(16)包括塔传中轴(161)以及沿所述塔传中轴(161)的径向由内到外依次同轴设置并转动连接的内层轴(162)、中层轴(163)和外层轴(164),所述塔传中轴(161)与所述肩部关节中心(11)同轴设置,所述塔传中轴(161)一端与所述第一电机(141)的输出端固定连接,另一端与所述大臂(151)的固定连接,所述第四带轮(1471)、所述第五带轮(1472)和所述第六带轮(1473)分别套设在所述内层轴(162)、所述中层轴(163)和所述外层轴(164)的动力输入部。

6.根据权利要求5所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述传动组件(17)包括位于所述肩部关节中心(11)的肩部关节带轮组(171)、位于所述肘部关节中心(12)的肘部关节带轮组(172)和位于所述腕部关节中心(13)腕部关节带轮组(173),所述肩部关节带轮组(171)设置在所述动能输出部上用于将所述动力轴(16)的动能传递至所述肘部关节带轮组(172),所述肘部关节带轮组(172)用于将动能传递至所述腕部关节带轮组(173),所述腕部关节带轮组(173)用于将动能传递至所述机械夹爪(153)。

7.根据权利要求6所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述肩部关节带轮组(171)包括沿高度方向由上至下依次分布的第七带轮(1711)、第八带轮(1712)和第九带轮(1713),所述第九带轮(1713)同轴套设在所述内层轴(162)上与所述第四带轮(1471)同步转动;所述第八带轮(1712)同轴套设在所述中层轴(163)上与所述第五带轮(1472)同步转动;所述第七带轮(17...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱玉东严梦刘玮赵渠
申请(专利权)人:素珀电子科技上海有限公司
类型:发明
国别省市:

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