【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶圆取放设备,尤其涉及应用于传送窗口的机械手臂及装载系统。
技术介绍
1、在半导体的制造过程中,晶圆输送对集成电路制造至关重要,为了确保晶圆在不同的制程间运送时的品质,避免晶圆受到尘粒或其它污染,越来越多的运送工作采用标准的运送容器,即采用了标准机械界面(standard mechanical interface,简称smif)技术,该系统是通过明显减少流过晶圆的尘粒,来降低尘粒对晶圆的污染,该效果是通过在机械方面保证晶圆输送,存储以及多数制程中,晶圆周围的气体相对晶圆保持静止,以及外部环境中的尘粒,不会进入晶圆环境来实现的,smif技术以“隔离技术”概念为中心,所谓隔离技术旨在通过将晶圆封闭在一个超洁净的环境中,同时放宽对这个封闭环境以外的洁净度要求来防止产品被污染。
2、smif由三部分组成,用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱,及smif晶圆盒,用来打开smif晶圆盒的输入输出装置,及smif装载端口,以及通过工艺系统实现装载端口整合的洁净室,smif的工作方式通常如下:操作人员或自
...【技术保护点】
1.应用于传送窗口的机械手臂(1),具有肩部关节中心(11)、肘部关节中心(12)和腕部关节中心(13),其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,至少四个所述动力源(14)包括并列设置的第一电机(141)、第二电机(142)、第三电机(143)和第四电机(144),所述第一电机(141)的输出轴与所述动力轴(16)同轴设置,所述第二电机(142)、所述第三电机(143)和所述第四电机(144)具有位于不同高度的输出端。
3.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,还包括升降
...【技术特征摘要】
1.应用于传送窗口的机械手臂(1),具有肩部关节中心(11)、肘部关节中心(12)和腕部关节中心(13),其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,至少四个所述动力源(14)包括并列设置的第一电机(141)、第二电机(142)、第三电机(143)和第四电机(144),所述第一电机(141)的输出轴与所述动力轴(16)同轴设置,所述第二电机(142)、所述第三电机(143)和所述第四电机(144)具有位于不同高度的输出端。
3.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,还包括升降座(145),至少四个所述动力源(14)设置在升降座(145)上与所述升降座(145)能够同步升降。
4.根据权利要求2所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述动能组件还包括驱动带轮组(146)和传动带轮组(147),所述驱动带轮组(146)包括与所述第二电机(142)传动连接的第一带轮(1461)、与所述第三电机(143)传动连接的第二带轮(1462)和与所述第四电机(144)传动连接的第三带轮(1463);
5.根据权利要求4所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述动力轴(16)包括塔传中轴(161)以及沿所述塔传中轴(161)的径向由内到外依次同轴设置并转动连接的内层轴(162)、中层轴(163)和外层轴(164),所述塔传中轴(161)与所述肩部关节中心(11)同轴设置,所述塔传中轴(161)一端与所述第一电机(141)的输出端固定连接,另一端与所述大臂(151)的固定连接,所述第四带轮(1471)、所述第五带轮(1472)和所述第六带轮(1473)分别套设在所述内层轴(162)、所述中层轴(163)和所述外层轴(164)的动力输入部。
6.根据权利要求5所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述传动组件(17)包括位于所述肩部关节中心(11)的肩部关节带轮组(171)、位于所述肘部关节中心(12)的肘部关节带轮组(172)和位于所述腕部关节中心(13)腕部关节带轮组(173),所述肩部关节带轮组(171)设置在所述动能输出部上用于将所述动力轴(16)的动能传递至所述肘部关节带轮组(172),所述肘部关节带轮组(172)用于将动能传递至所述腕部关节带轮组(173),所述腕部关节带轮组(173)用于将动能传递至所述机械夹爪(153)。
7.根据权利要求6所述的应用于传送窗口的机械手臂(1),其特征在于,所述肩部关节带轮组(171)包括沿高度方向由上至下依次分布的第七带轮(1711)、第八带轮(1712)和第九带轮(1713),所述第九带轮(1713)同轴套设在所述内层轴(162)上与所述第四带轮(1471)同步转动;所述第八带轮(1712)同轴套设在所述中层轴(163)上与所述第五带轮(1472)同步转动;所述第七带轮(17...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱玉东,严梦,刘玮,赵渠,
申请(专利权)人:素珀电子科技上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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