一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备制造技术

本技术公开了一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备，涉及半导体设备技术领域，晶圆位置检测组件包括：至少一个检测单元，检测单元包括发射端、接收端和反射件；检测单元沿Z轴方向设置，发射端和所述接收端位于同侧；反射件沿Z轴方向与所述发射端相对设置，反射件具有反射区，发射端沿X轴可移动设置于所述腔体顶壁，发射端的移动轨迹在Z轴方向上的投影在所述反射区内；反射件对所述发射端在移动轨迹上的任意位置点发出的激光束进行反射，接收端对反射的激光束进行接收；当发射端发射出的激光束与晶圆盒内的晶圆片相交时，接收端的信号减弱。本技术至少能够解决需要移动激光发射件的同时，又相应的移动反射件至对应位置的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备。

技术介绍

1、晶圆位置检测传感器以光学方式检测放置不正确的晶圆，从载具中滑出的晶圆可通过腔室顶部的激光发射器检测，该激光发射器将光束照到底部的反光镜上返回。如果在晶圆载具真空传输装置的操作过程中晶片开始从晶圆载具中滑出，它将与激光束相交，导致返回的光强变弱，达到设定的阈值后，会报警停止升降轴运动。

2、现有技术中，在检测不同尺寸的晶圆时，需要将激光发射件和反光镜同时移动，操作过程较为繁琐。

3、因此，有必要提供一种新的晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备，以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备，至少能够解决，现有技术中需要移动激光发射件的同时，又相应的移动反射件至对应位置的问题。

2、为实现上述目的，本技术的技术方案如下：

3、一种晶圆位置检测组件，应用于晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆位置检测组件，应用于晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体(100)，且内部具有容纳空间，用于放置晶圆盒(200)，所述晶圆盒(200)内放置多个晶圆片，其特征在于，所述晶圆位置检测组件包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，还包括支架(500)，所述支架(500)一侧固定设置于所述腔体，另一侧与所述反射件(400)固定；

3.根据权利要求2所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，所述支架(500)包括安装板(520)和抵接块(530)，所述抵接块(530)固定设置于所述安装板(520)端部，且所述抵接块(530)设置...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆位置检测组件，应用于晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体(100)，且内部具有容纳空间，用于放置晶圆盒(200)，所述晶圆盒(200)内放置多个晶圆片，其特征在于，所述晶圆位置检测组件包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，还包括支架(500)，所述支架(500)一侧固定设置于所述腔体，另一侧与所述反射件(400)固定；

3.根据权利要求2所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，所述支架(500)包括安装板(520)和抵接块(530)，所述抵接块(530)固定设置于所述安装板(520)端部，且所述抵接块(530)设置于所述安装板(520)远离所述反射件(400)的端面。

4.根据权利要求3所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，所述抵接块(530)设置有两块，所述检测孔(510)设置于两所述抵接块(530)之间。

5.根据权利要求1所述的晶圆位置检测组件，其特征在于，所述反射件(400)呈长条状，所述反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玉东，严梦，刘玮，赵渠，
申请(专利权)人：素珀电子科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：