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本技术公开了一种晶圆位置检测组件及晶圆载具升降传输设备，涉及半导体设备技术领域，晶圆位置检测组件包括：至少一个检测单元，检测单元包括发射端、接收端和反射件；检测单元沿Z轴方向设置，发射端和所述接收端位于同侧；反射件沿Z轴方向与所述发射端相对...
该专利属于素珀电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过素珀电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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