工艺角提取方法、提取装置、电子设备和存储介质制造方法及图纸

本公开提供了一种工艺角提取方法、提取装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。其中，金属互连线的工艺角提取方法包括：响应于输入的芯片电路的初始RC工艺角文件，配置工艺角提取模型，以由所述工艺角提取模型输出目标RC工艺角，所述目标RC工艺角的工艺余量小于所述初始RC工艺角文件中的工艺余量；其中，基于所述初始RC工艺角文件对所述芯片电路执行电路性能的仿真操作，以基于所述仿真操作的结果配置所述工艺角提取模型。通过本公开的技术方案，能够得到余量更小且精度更高的目标RC工艺角参数，从而在基于目标RC工艺角参数指导芯片的后段制程时，能够降低寄生电阻电容对器件性能的影响。

【技术实现步骤摘要】

所属的技术人员能够理解，本专利技术的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本专利技术的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。下面参照图8来描述根据本专利技术的实施方式的金属互连线的工艺角提取装置800。图8所示的金属互连线的工艺角提取装置800仅仅是一个示例，不应对本专利技术实施例的功能和使用范围带来任何限制。金属互连线的工艺角提取装置800以硬件模块的形式表现。金属互连线的工艺角提取装置800的组件可以包括但不限于：提取模块802，用于响应于输入的芯片电路的初始rc工艺角文件，配置工艺角提取模型，以由工艺角提取模型输出目标rc工艺角，目标rc工艺角的工艺余量小于初始rc工艺角文件中的工艺余量；其中，基于初始rc工艺角文件对芯片电路执行电路性能的仿真操作，以基于仿真操作的结果配置工艺角提取模型。所属的技术人员能够理解，本专利技术的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本专利技术的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述基于所述初始RC工艺角文件对所述芯片电路执行电路性能的仿真操作，包括：

3.根据权利要求2所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述基于所述RC灵敏度网表对所述芯片电路执行电路性能仿真操作，包括：

4.根据权利要求3所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述由所述工艺角提取模型输出目标RC工艺角，包括：

5.根据权利要求4所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述从所述多个备选RC工艺角中筛选出...

【技术特征摘要】

1.一种金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述基于所述初始rc工艺角文件对所述芯片电路执行电路性能的仿真操作，包括：

3.根据权利要求2所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述基于所述rc灵敏度网表对所述芯片电路执行电路性能仿真操作，包括：

4.根据权利要求3所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述由所述工艺角提取模型输出目标rc工艺角，包括：

5.根据权利要求4所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述从所述多个备选rc工艺角中筛选出所述目标rc工艺角，包括：

6.根据权利要求4所述的金属互连线的工艺角提取方法，其特征在于，所述配置工艺角提取模型，包括：

7.根据权利要求6所述的金属互连线的工艺角提取方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓妍，渠汇，郭俊涛，颜彦，江念，
申请(专利权)人：合肥格易集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：