一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装制造技术

本技术公开了一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装，涉及单晶电阻炉装炉装置技术领域，坩埚放置于加热器内，加热器的外部设置有保温筒，上屏设置于保温筒的顶部，且上屏的中部开设有通孔；电阻炉的顶部设置有夹持机构，夹持机构连接有籽晶；该工装包括第一对中件和第二对中件，第一对中件用于坩埚的对中，使得坩埚的中轴线与加热器的中轴线共线；第二对中件和籽晶配合使用，用于上屏的对中。采用两个限位工装，根据设计时的理想间隙制作即第一对中件，以及利用籽晶和第二对中件的配合使用对保温上屏进行对中。该方案使用成本低，规避了由于坩埚位置不对中对引晶带来的风险，提高了熔体的温度均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶电阻炉装炉装置，具体而言，涉及一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装。

技术介绍

1、在现有的电阻式单晶炉中，传统装炉方法需要将装有原料的坩埚手持放置在锅托上，并用肉眼观察坩埚外沿与石墨加热器的间距，引晶前调整坩埚的位置，使坩埚位于石墨加热器的中间，最后在坩埚上放置环形保温上屏，并保证环形保温上屏中间用于毛坯提拉的孔位与坩埚保持同轴心。将坩埚和环形保温上屏的位置调整好后，将籽晶下沉，使籽晶的生长端对准坩埚的中心位置，同时籽晶不与坩埚内的原料接触。然后通过石墨加热器对坩埚进行加热，使坩埚内的物料液化。石墨加热器和坩埚均为圆柱体结构，石墨加热器对坩埚进行环形加热。坩埚中存在径向的问题梯度，坩埚内熔体存在由四周向中心沉积的自然对流，此时籽晶在熔体中心，辅以合适的提拉，旋转速度，以及降温速率，即可在籽晶上生长晶体。

2、但是凭借肉眼观察无法精确判断坩埚是否置于石墨加热器中心位置，在坩埚受热不均匀的情况下，中心温度最低点的位置则会发生偏移，而引晶时的引晶点（籽晶的生长端）应对准坩埚中心温度最低点，此种情况下如果坩埚不处于石墨加热器的中心位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装，为圆柱体结构的坩埚（201）放置于为圆柱体结构的加热器（301）内，所述加热器（301）的外部设置有保温筒（401），用于保温的上屏设置于所述保温筒（401）的顶部，且所述上屏的中部开设有通孔（704）；电阻炉（101）的顶部设置有夹持机构，所述夹持机构连接有籽晶（801），其特征在于：工装包括第一对中件（501）和第二对中件，所述第一对中件（501）用于所述坩埚（201）的对中，使得所述坩埚（201）的中轴线与所述加热器（301）的中轴线共线；所述第二对中件和所述籽晶（801）配合使用，用于所述上屏的对中，使得所述通孔（704）的中轴线与所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装，为圆柱体结构的坩埚（201）放置于为圆柱体结构的加热器（301）内，所述加热器（301）的外部设置有保温筒（401），用于保温的上屏设置于所述保温筒（401）的顶部，且所述上屏的中部开设有通孔（704）；电阻炉（101）的顶部设置有夹持机构，所述夹持机构连接有籽晶（801），其特征在于：工装包括第一对中件（501）和第二对中件，所述第一对中件（501）用于所述坩埚（201）的对中，使得所述坩埚（201）的中轴线与所述加热器（301）的中轴线共线；所述第二对中件和所述籽晶（801）配合使用，用于所述上屏的对中，使得所述通孔（704）的中轴线与所述坩埚（201）的中轴线共线。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装，其特征在于：所述第一对中件（501）为圆环结构，所述第一对中件（501）的一端开设有圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈竑宇，
申请(专利权)人：成都晶九科技有限公司，
类型：新型
国别省市：