下载一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装的技术资料

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本技术公开了一种用于单晶电阻炉坩埚及上屏对中的工装,涉及单晶电阻炉装炉装置技术领域,坩埚放置于加热器内,加热器的外部设置有保温筒,上屏设置于保温筒的顶部,且上屏的中部开设有通孔;电阻炉的顶部设置有夹持机构,夹持机构连接有籽晶;该工装包括第一...
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