一种多工位抛光机制造技术

本技术公开了一种多工位抛光机，涉及抛光设备技术领域。本技术包括：箱体；抛光机本体，所述抛光机本体固定安装于所述箱体的顶部；带式输送机，所述带式输送机安装于所述箱体内壁的两侧之间，所述带式输送机的输送带上构造有放置槽；安装板，数量为两个，两个所述安装板呈对称分布固定安装于所述箱体的顶部；清洁设备，所述清洁设备安装于两个所述安装板之间。本技术通过固定柱、转动轴、无尘布以及振动组件的相互配合，巧妙的去除了硅片表面的粉尘等杂质，无需工作人员手动对待加工的硅片进行清洁，营造了一个干净舒适的工作环境，同时减少了工作人员的劳动量，有效的提高了硅片的加工效率和合格率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及抛光设备，具体涉及一种多工位抛光机。

技术介绍

1、单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，单晶硅圆片由普通硅沙拉制提炼而成,是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,单晶硅片制作好之后由于表面较为粗糙,通常需要进行打磨抛光，因此，抛光机在对单晶硅片加工时起到了至关重要的作用。

2、而制作完成后的单晶硅片表面会残留一些硅粉等杂质，若不清洁直接进行抛光，则影响抛光效果，使得抛光后的单晶硅片厚度不均匀，则需要进行返工，而现有的抛光机不具备自动清洁的功能，在对单晶硅片抛光前，需要人工手动清洁，增加了工作人员的劳动量，影响抛光效率，若操作不当，极易使得硅片掉落在地面上，从而导致硅片破裂，不便于使用。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术提供了一种多工位抛光机。

2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种多工位抛光机，包括：箱体；抛光机本体，所述抛光机本体固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多工位抛光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种多工位抛光机，其特征在于，所述振动组件(6)包括固定安装于两个所述安装板(4)之间的固定板(61)，所述固定板(61)的内部固定安装有振动电机(62)，所述振动电机(62)的输出端固定安装有压板(63)。

3.根据权利要求1所述的一种多工位抛光机，其特征在于，所述抛光机本体(2)内壁的顶部固定安装有多个喷头(7)，所述抛光机本体(2)内壁的两侧之间固定安装有软板(8)，所述抛光机本体(2)内壁的两侧之间固定安装有挡板(9)。

4.根据权利要求1所述的一种多工位抛光机，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种多工位抛光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种多工位抛光机，其特征在于，所述振动组件(6)包括固定安装于两个所述安装板(4)之间的固定板(61)，所述固定板(61)的内部固定安装有振动电机(62)，所述振动电机(62)的输出端固定安装有压板(63)。

3.根据权利要求1所述的一种多工位抛光机，其特征在于，所述抛光机本体(2)内壁的顶部固定安装有多个喷头(7)，所述抛光机本体(2)内壁的两侧之间固定安装有软板(8)，所述抛光机本体(2)内壁的两侧之间固定安装有挡板(9)。

4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴祖森，
申请(专利权)人：南阳市万杰光电有限公司，
类型：新型
国别省市：