【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。
技术介绍
1、有机el显示装置(有机el显示器)不仅应用于智能手机、电视机、汽车用显示器，其应用领域还扩展至vr-hmd(virtual reality-head mount display：虚拟现实头戴式显示器)等。
2、在制造有机el显示器等时使用的成膜装置中，要求提高蒸镀材料相对于基板的成膜的精度，尤其重要的是测定和管理膜厚。例如，已知有使用设置于成膜室内的石英振子监测器计算蒸镀材料的膜厚和成膜速率的方法、利用光学膜厚测定装置测定在基板上成膜的蒸镀材料的膜厚的方法。在测定的膜厚不足的情况下，能够通过对基板进行追加的成膜来弥补膜厚。另外，也能够将测定的膜厚与目标值进行比较来变更下次成膜的控制条件。
3、在专利文献1中公开了如下内容：为了降低由于在成膜室内在使用石英振子监测器的膜厚计上沉积蒸镀材料而造成的影响，基于在成膜完成后测定的膜厚，校正石英振子监测器的被称为修正系数(tf：tooling factor)的系数。
4、现有技术文献
...【技术保护点】
1.一种成膜装置，所述成膜装置在基板上蒸镀材料来进行成膜，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，
4.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，
8.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，
9.一种电子器件的制造装置，其特征在于，
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