【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测量，涉及一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头。
技术介绍
1、光谱共焦位移测量技术是一种基于共焦光学原理的非接触式绝对位移测量技术，通过色散物镜将被测位移量调制为峰值波长变化信息，利用光谱仪获取峰值波长结合与轴向距离的对应关系计算出被测物体的位置信息。光谱共焦位移传感器的测量分辨率可达纳米级，测量频率可达数万赫兹，探测斜率范围大，焦点光斑小，可用于位移、粗糙度、厚度以及三维面形扫描测量。
2、传统光谱共焦位移测头利用色散透镜组对宽谱光源色散聚焦从而实现波长-轴向位置编码，一般使用多种不同阿贝数材料的折射透镜组合的方式来控制起始测量距离、色散范围以及数值孔径等参数，但多个折射透镜的组合结构增加了光谱共焦位移测头的体积和重量，同时装调复杂。
技术实现思路
1、针对现有技术的改进需求，本专利技术提出了一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头。
2、为实现上述目的，本专利技术提出的基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头，包...
【技术保护点】
1.一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头，其特征在于，包括镜筒（1）、光纤接口（2）、双面纯相位型衍射色散透镜（3）、第一衍射面（4）、第二衍射面（5）、光纤（6）、光阑（7），镜筒（1）的一端设有光纤接口（2），用于安装光纤（6），在镜筒（1）的内部靠近镜筒（1）另一端设有双面纯相位型衍射色散透镜（3），双面纯相位型衍射色散透镜（3）具有第一衍射面（4）和第二衍射面（5），第一衍射面（4）是光入射面，第二衍射面（5）是光出射面，镜筒（1）的另一端设有光阑（7），其中复色光由光纤（6）引入至镜筒内，经过双面纯相位型衍射色散透镜（3）的第一衍射面（4）和第...
【技术特征摘要】
1.一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头，其特征在于，包括镜筒（1）、光纤接口（2）、双面纯相位型衍射色散透镜（3）、第一衍射面（4）、第二衍射面（5）、光纤（6）、光阑（7），镜筒（1）的一端设有光纤接口（2），用于安装光纤（6），在镜筒（1）的内部靠近镜筒（1）另一端设有双面纯相位型衍射色散透镜（3），双面纯相位型衍射色散透镜（3）具有第一衍射面（4）和第二衍射面（5），第一衍射面（4）是光入射面，第二衍射面（5）是光出射面，镜筒（1）的另一端设有光阑（7），其中复色光由光纤（...
【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，王玉龙，侯溪，陈林，刘鑫，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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