微环调制器及其形成方法技术

本公开实施例提供了一种微环调制器及其形成方法，其中，微环调制器包括：直波导，以及和直波导耦合的环形波导；环形波导包括：低功耗控制部分，包括沿第一方向排列、且掺杂类型相反的第一掺杂区和第二掺杂区；第一掺杂区和第二掺杂区的交界面在第二方向的投影为弯折形；高速调制部分，包括沿第一方向排列、且掺杂类型相反的第三掺杂区和第四掺杂区；耦合波导部分，与低功耗控制部分和高速调制部分相接，并且位于直波导一侧。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及集成光学器件领域，尤其涉及一种微环调制器及其形成方法。

技术介绍

1、微环调制器是高速调制器中的一种常用的结构，通过微环调制器将光信号限制在品质因数(q)的谐振腔中，可以有效地增加光程长度，从而增加调制载波分布的相互作用。然而，工作过程中的环境温度变化，会导致微环调制器中谐振腔的谐振波长偏移，从而使得微环调制器的性能劣化。

2、相关技术中，微环调制器通常需要增加热电极调制，对微环调制器的工作状态进行主动控制；然而，热电极的引入会导致微环调制器的整体功耗巨大(15-20mw)，降低了微环调制器的能量利用效率，不利于提高微环调制器的调制效率。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种微环调制器及其形成方法。

2、第一方面，本公开实施例提供一种微环调制器，包括：直波导，以及和所述直波导耦合的环形波导；其中，所述环形波导包括：

3、低功耗控制部分，包括沿第一方向排列、且掺杂类型相反的第一掺杂区和第二掺杂区；所述第一掺杂区和所述第二掺杂区的交界面在第二方向的投影为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微环调制器，其特征在于，包括：直波导，以及和所述直波导耦合的环形波导；其中，所述环形波导包括：

2.根据权利要求1所述的微环调制器，其特征在于，所述低功耗控制部分还包括：本征区；

3.根据权利要求1或2所述的微环调制器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的微环调制器，其特征在于，所述弯折形在所述第一方向的尺寸，小于或者等于所述脊部在所述第一方向的尺寸。

5.根据权利要求4所述的微环调制器，其特征在于，所述弯折形至少包括矩形弯折、V形弯折、U形弯折或S形弯折。

6.根据权利要求1至5任一项所述的微环调制器，其特征在于，<...

【技术特征摘要】

1.一种微环调制器，其特征在于，包括：直波导，以及和所述直波导耦合的环形波导；其中，所述环形波导包括：

2.根据权利要求1所述的微环调制器，其特征在于，所述低功耗控制部分还包括：本征区；

3.根据权利要求1或2所述的微环调制器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的微环调制器，其特征在于，所述弯折形在所述第一方向的尺寸，小于或者等于所述脊部在所述第一方向的尺寸。

5.根据权利要求4所述的微环调制器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘阳，党子越，肖希，陈代高，张红广，
申请(专利权)人：武汉光谷信息光电子创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：