【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片生产，具体为一种传输硅片的机械装置。
技术介绍
1、目前在半导体行业中，因为硅片很昂贵，且在工艺制造中对硅片表面机械颗粒要求也非常高，所以取送硅片时不仅需要取送装置具有很高的稳定性，而且还要求具有很高的洁净度。由于生产中，需要将硅片在各个工艺设备之间高速、精确、洁净且绝对安全的反复传送，因此需要高传送效率、高稳定性的传送装置来完成。
2、其中公开(公告)号：cn109192687b，公开了一种传输硅片的机械装置，其包括x轴驱动机构、z轴驱动机构、z轴旋转驱动机构、两套独立的y轴驱动机构、第一手叉、第二手叉以及校正装置，其中x轴驱动机构上安装有z轴驱动机构，z轴驱动机构上安装有z轴旋转驱动机构，z轴旋转驱动机构上安装有两套独立的y轴驱动机构，两套独立的y轴驱动机构，分别用于驱动第一手叉和第二手叉做水平伸缩运动，校正装置安装在z轴驱动机构的壳体上。
3、在上述的方案中提出了传输硅片装置，且通过x轴方向的距离输送，但是如果传输路线较长，则x轴方向的传输效率不高，导致生产效率降低；而且，有时硅片加工的传输的路线需要改变，则会导致硅片的传输位置发生改变，上述的方案不能够随意的调整硅片传输的路线；另外，由于生产环境的污染会导致硅片的表面附着有杂质或者灰尘，如果直接进行传输加工，则会导致硅片的加工质量降低，从而影响后期对硅片的使用效果。为此，提出一种传输硅片的机械装置。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技
3、（二）技术方案
4、为实现上述的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种传输硅片的机械装置，包括底箱、传输架和传输带，所述传输架位于底箱的上方，所述底箱的内部转动设有向上引出的伸缩旋转柱，所述伸缩旋转柱的上端与传输架的底部固定连接，所述底箱的内部设有与伸缩旋转柱连接的旋转驱动机构；所述传输带传动设置于传输架的内部，所述传输架的一侧固定设有吹风箱，且传输架的另一侧固定设有吸风箱，所述传输架的顶部两侧均固定设有第一安装座，两个所述第一安装座的侧壁均固定设有第一气缸，两个所述第一气缸的活塞杆末端分别固定设有吹风板和吸风板，所述吹风板和吸风板均通过风管分别与吹风箱和吸风箱连接；所述传输架的尾部上端固定设有第二安装座，所述第二安装座的侧壁固定设有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆末端固定设有推料板，所述传输架的一侧且与推料板的位置对应处设有缺口，且缺口处固定设有放料板。
5、优选的，所述旋转驱动机构包括第三气缸、齿条和齿轮，所述伸缩旋转柱的下端固定设有转轴，且转轴的下端与底箱的底部内壁转动连接，所述齿轮固定设置于转轴的轴壁上，所述第三气缸固定设置于底箱的内侧壁上，所述第三气缸的活塞杆末端与齿条固定连接，所述齿条与齿轮啮合设置。
6、优选的，所述底箱的内侧壁固定设有控制器，所述第一气缸、第二气缸和第三气缸均与控制器电性连接。
7、优选的，所述吹风箱的底部固定设有进风扇，所述吸风箱的底部固定设有出风扇，所述吸风箱的内部倾斜固定设有过滤网，所述过滤网的底部固定安装有震动电机，所述吸风箱的侧壁且位于过滤网朝下倾斜的一侧设有取渣口，且取渣口的内部螺纹设有盖头。
8、优选的，所述风管的一端延伸至吸风箱的内部并固定设有布气管，所述布气管的管壁开设有多个均匀分布的布气孔，所述布气管位于过滤网的上方。
9、优选的，所述伸缩旋转柱包括下柱和上柱，所述下柱与上柱插接配合，所述下柱的下端与转轴固定连接，所述上柱的上端与传输架固定连接，所述下柱与上柱的连接处设有相互配合的螺栓和螺母。
10、优选的，所述下柱的柱壁固定设有角度指针，所述底箱的顶部固定嵌设有角度刻度盘，所述角度指针与角度刻度盘位置对应设置。
11、优选的，所述放料板的表面开设有安装槽，所述安装槽的内部固定安装有红外线传感器，且安装槽的开口固定设有将红外线传感器挡住的透明玻璃罩，所述红外线传感器与控制器电性连接。
12、优选的，所述底箱的两侧均固定设有安装环，且底箱通过安装环固定安装于地面或者设备主体上。
13、（三）有益效果
14、与现有技术相比，本专利技术提供了一种传输硅片的机械装置，具备以下有益效果：
15、1、该传输硅片的机械装置，通过设有的传输架和传输带，传输带在传输架内部旋转时，能够将硅片进行远距离的快速输送，同时通过设置在底箱内部的旋转驱动机构，旋转驱动机构可带动伸缩旋转柱转动，使得传输架和传输带进行角度旋转，从而能够将传输带表面的硅片进行多方位的输送，使得硅片可传输至不同方位的加工工位，提高了输送的效率。
16、2、该传输硅片的机械装置，通过设置在传输架上的吹风箱、吸风箱、第一气缸、吹风板和吸风板，硅片在传输带表面传输的过程中，使得硅片经过两侧的吹风板和吸风板，吹风箱的内部可向吹风板的内部吹入气体，使得使得气体吹向硅片的表面，从而能够将硅片表面的杂质或者灰尘吹气，同时吸风箱可使得吸风板的产生负压，使得吹气的气体吸入至吸风箱的内部。
17、3、该传输硅片的机械装置，通过设有的第二气缸、推料板和放料板，硅片输送至传输带的末端时，通过第二气缸伸出，第二气缸伸出带动推料板移动，使得硅片移动至放置板的表面用于机械抓取加工。
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1.一种传输硅片的机械装置，包括底箱（1）、传输架（2）和传输带（3），其特征在于：所述传输架（2）位于底箱（1）的上方，所述底箱（1）的内部转动设有向上引出的伸缩旋转柱（4），所述伸缩旋转柱（4）的上端与传输架（2）的底部固定连接，所述底箱（1）的内部设有与伸缩旋转柱（4）连接的旋转驱动机构；
2.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述旋转驱动机构包括第三气缸（15）、齿条（16）和齿轮（17），所述伸缩旋转柱（4）的下端固定设有转轴（18），且转轴（18）的下端与底箱（1）的底部内壁转动连接，所述齿轮（17）固定设置于转轴（18）的轴壁上，所述第三气缸（15）固定设置于底箱（1）的内侧壁上，所述第三气缸（15）的活塞杆末端与齿条（16）固定连接，所述齿条（16）与齿轮（17）啮合设置。
3.根据权利要求2所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述底箱（1）的内侧壁固定设有控制器（19），所述第一气缸（8）、第二气缸（12）和第三气缸（15）均与控制器（19）电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置
5.根据权利要求４所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述风管的一端延伸至吸风箱（6）的内部并固定设有布气管（25），所述布气管（25）的管壁开设有多个均匀分布的布气孔（26），所述布气管（25）位于过滤网（22）的上方。
6.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述伸缩旋转柱（4）包括下柱（27）和上柱（28），所述下柱（27）与上柱（28）插接配合，所述下柱（27）的下端与转轴（18）固定连接，所述上柱（28）的上端与传输架（2）固定连接，所述下柱（27）与上柱（28）的连接处设有相互配合的螺栓（29）和螺母（30）。
7.根据权利要求6所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述下柱（27）的柱壁固定设有角度指针（31），所述底箱（1）的顶部固定嵌设有角度刻度盘（32），所述角度指针（31）与角度刻度盘（32）位置对应设置。
8.根据权利要求3所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述放料板（14）的表面开设有安装槽（33），所述安装槽（33）的内部固定安装有红外线传感器（34），且安装槽（33）的开口固定设有将红外线传感器（34）挡住的透明玻璃罩（35），所述红外线传感器（34）与控制器（19）电性连接。
9.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述底箱（1）的两侧均固定设有安装环（36），且底箱（1）通过安装环（36）固定安装于地面或者设备主体上。
...【技术特征摘要】
1.一种传输硅片的机械装置，包括底箱（1）、传输架（2）和传输带（3），其特征在于：所述传输架（2）位于底箱（1）的上方，所述底箱（1）的内部转动设有向上引出的伸缩旋转柱（4），所述伸缩旋转柱（4）的上端与传输架（2）的底部固定连接，所述底箱（1）的内部设有与伸缩旋转柱（4）连接的旋转驱动机构；
2.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述旋转驱动机构包括第三气缸（15）、齿条（16）和齿轮（17），所述伸缩旋转柱（4）的下端固定设有转轴（18），且转轴（18）的下端与底箱（1）的底部内壁转动连接，所述齿轮（17）固定设置于转轴（18）的轴壁上，所述第三气缸（15）固定设置于底箱（1）的内侧壁上，所述第三气缸（15）的活塞杆末端与齿条（16）固定连接，所述齿条（16）与齿轮（17）啮合设置。
3.根据权利要求2所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述底箱（1）的内侧壁固定设有控制器（19），所述第一气缸（8）、第二气缸（12）和第三气缸（15）均与控制器（19）电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于：所述吹风箱（5）的底部固定设有进风扇（20），所述吸风箱（6）的底部固定设有出风扇（21），所述吸风箱（6）的内部倾斜固定设有过滤网（22），所述过滤网（22）的底部固定安装有震动电机（23），所述吸风箱（6）的侧壁且位于过滤网（22）朝下倾斜的一侧设有取渣口，且取渣口的内部螺纹设有盖头（...
【专利技术属性】
技术研发人员：李赞，张敏，
申请(专利权)人：深圳摩天智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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