一种锌碲合金靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种锌碲合金靶材及其制备方法，涉及半导体靶材制备领域，旨在解决如何制备粒径均匀的碲化锌靶材，其技术方案要点是：1）选取纯度为99.99%的Zn锭和纯度为99.99%的Te锭作为原材料进行配比；2）对Zn锭和Te锭进行称重配比，然后加入到真空熔炼炉中进行混合熔炼得到毛坯；3）将预处理后毛坯加入到气雾化制粒设备中进行制粒；4）将气雾化制粒得到粉末颗粒装入球磨罐中进行球磨得到粉料；5）将球磨处理后的粉料按照产品规格进行密度换算及称重，粉料装入石墨模具放置真空烧结炉中进行烧结；6）对烧结后的产品进行机加工。本发明专利技术的一种锌碲合金靶材及其制备方法制备的靶材气体含量低、微观组织均匀、晶粒度细小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体靶材制备领域，更具体地说，它涉及一种锌碲合金靶材及其制备方法。

技术介绍

1、碲化锌是ⅱ—ⅵ族化合物，具有宽禁带特性；是一种p型宽禁带半导体，室温下禁带宽度约为2.26ev，晶体结构类似于黄铜，具有六方和立方两种晶型；在近红外超短脉冲作用下的良好电光效应，是常用的光学整流thz辐射源与探测材料，在绿光发射器件、太阳能电池、波导和调制器等光电器件方面也有应用。

2、目前常用制备碲化锌靶材的方式为干法/湿法合金制备—（冷压）—热压烧结—机加工：在热压烧结前的粉末出现颗粒粒径不均匀、形状不规则等问题，导致烧结后产品致密度、微观组织均匀性出现偏差，进而导致最终靶材质量低下。当前市场上关于znte粉末制粒工艺描述较少，目前常用为机械破碎方式进行制粒，此方式易出现粒径分布不均匀、颗粒强度不足、粒径大小分布控制难度大等问题，导致后续烧结后靶材质量难以把控。因此保证znte粉末颗粒粒径均匀、形状规则是当前生产碲化锌靶材的一大问题。

3、因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：在步骤2）中，熔炼参数：温度450-600℃、升温速率20-50℃/min、真空度＜10-2Pa、熔炼时间0.5-2h。

3.根据权利要求2所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：所选熔炼设备为真空熔炼炉。

4.根据权利要求1所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：在步骤3）中，制粒参数：喷雾气压2-8MPa、冷却水入口温度<30℃、雾化气体温度40-60℃、喷嘴直径2-6mm、雾化介质N2或Ar气、熔炼室温度9...

【技术特征摘要】

1.一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：在步骤2）中，熔炼参数：温度450-600℃、升温速率20-50℃/min、真空度＜10-2pa、熔炼时间0.5-2h。

3.根据权利要求2所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：所选熔炼设备为真空熔炼炉。

4.根据权利要求1所述的一种锌碲合金靶材的制备方法，其特征在于：在步骤3）中，制粒参数：喷雾气压2-8mpa、冷却水入口温度<30℃、雾化气体温度40-60℃、喷嘴直径2-6mm、雾化介质n2或ar气、熔炼室温度900-1200℃、导流管保温温度800-1000℃。

5.根据权利要求1所述的一种锌碲合金...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁明辉，
申请(专利权)人：基迈克材料科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：