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本发明公开了一种锌碲合金靶材及其制备方法,涉及半导体靶材制备领域,旨在解决如何制备粒径均匀的碲化锌靶材,其技术方案要点是:1)选取纯度为99.99%的Zn锭和纯度为99.99%的Te锭作为原材料进行配比;2)对Zn锭和Te锭进行称重配比,然...该专利属于基迈克材料科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过基迈克材料科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种锌碲合金靶材及其制备方法,涉及半导体靶材制备领域,旨在解决如何制备粒径均匀的碲化锌靶材,其技术方案要点是:1)选取纯度为99.99%的Zn锭和纯度为99.99%的Te锭作为原材料进行配比;2)对Zn锭和Te锭进行称重配比,然...