【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜领域，更具体地说，它涉及一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法。
技术介绍
1、贵金属靶材有多种，常见有金、银、铂、钯、铑，其薄膜性能通常较为单一。
2、为了追求卓越的薄膜综合性能，贵金属合金靶材应运而生。贵金属靶材的制作难点，除了控制质量规格外，还有一个重要点就是低损耗的控制。晶粒大小是靶材的一个核心指标，镀膜时往往细小均匀的晶粒能够获得良好的薄膜。而控制晶粒常用的方法就是形变与退火工艺。由于贵金属合金靶材没有单质贵金属的较强的抗氧化能力，在退火过程中会出现氧化，甚至掉皮现象，这些氧化皮难以收集且提纯成本较高。
3、因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，可以有效解决损耗问题且同时可满足晶粒要求。
2、本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，包括以下步骤：
3、s1：准...
【技术保护点】
1.一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。
3.根据权利要求1或2所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。
4.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在S3中，抽真空的真空度<0.01Pa。
5.根据权利要求1所述的一种贵金...
【技术特征摘要】
1.一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。
3.根据权利要求1或2所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。
4.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s3中，抽真空的真空度<0.01...
【专利技术属性】
技术研发人员：张剑，
申请(专利权)人：基迈克材料科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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