移动端的限位装置及检测设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及检测设备技术领域，公开一种移动端的限位装置及检测设备。其中移动端的限位装置包括限位组件和检测组件，限位组件包括限位块，限位块设置于工作台，当移动端在第一方向与工作台距离为第一预设距离时，限位块能与移动端抵接，或限位块设置于移动端，用于选择性与工作台抵接；检测组件包括检测头，检测头与驱动组件通讯连接，用于实时检测移动端和工作台在第一方向上的距离，并在距离为第二预设距离时，使驱动组件驱动移动端以预设速度移动并在第三预设距离时停止驱动，第一预设距离小于等于第三预设距离。本发明专利技术在检测组件未能及时将移动端限位或限位失败时，限位组件还可以用于对移动端限位，有效地提高了移动端和工作台的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测设备，尤其涉及一种移动端的限位装置及检测设备。

技术介绍

1、在晶圆或掩模版缺陷检测领域，精密运动台是关键技术之一，其性能直接影响检测的结果。随着半导体芯片制程不断发展，晶圆或掩模版缺陷检测设备向着更精密、更准确、更高产的方向发展；这一发展趋势对其中的精密运动台提出了更精密、更稳定的技术要求。

2、如图1所示：晶圆或掩模版缺陷检测设备的运动台主要由水平y向运动轴7、水平x向运动轴8、旋转运动轴6、垂向运动轴3等组成。为满足检测精度的需求，各运动轴都安装在具有减振装置1的大理石平台2上。其中，水平y向运动轴7、水平x向运动轴8和旋转运动轴6一般集成在一起，承载被检测工件5作水平向及旋转运动；垂向运动轴3搭载光学检测装置4，实现光学检测装置4的垂向精密运动。具体地，传统的精密垂向运动轴3的结构一般是电机直驱精密滚珠丝杆、或电机搭配同步带，再驱动精密滚珠丝杆，带动光机负载作垂向往复运动。进一步地，在半导体精密量检测领域，垂向运动轴3带动光学检测装置4运动至检测位置时，受光学检测装置4性能及检测精度的要求，光学检测装置4的最下端元器件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.移动端的限位装置，其特征在于，移动端通过驱动组件(101)设置于工作台(102)，所述驱动组件(101)用于驱动所述移动端相对于工作台(102)沿第一方向移动，所述限位装置包括：

2.根据权利要求1所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述检测组件(300)还包括感应头(320)，所述感应头(320)和所述检测头(310)二者中，其中一个设置于所述移动端，另一个设置于所述工作台(102)，所述检测头(310)用于检测所述感应头(320)与所述检测头(310)之间的距离。

3.根据权利要求2所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述感应头(320)与所述检测头(31...

【技术特征摘要】

1.移动端的限位装置，其特征在于，移动端通过驱动组件(101)设置于工作台(102)，所述驱动组件(101)用于驱动所述移动端相对于工作台(102)沿第一方向移动，所述限位装置包括：

2.根据权利要求1所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述检测组件(300)还包括感应头(320)，所述感应头(320)和所述检测头(310)二者中，其中一个设置于所述移动端，另一个设置于所述工作台(102)，所述检测头(310)用于检测所述感应头(320)与所述检测头(310)之间的距离。

3.根据权利要求2所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述感应头(320)与所述检测头(310)沿所述第一方向间距可调。

4.根据权利要求1所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述检测组件(300)还包括第二安装支架(330)，所述第二安装支架(330)设置于所述工作台(102)，所述检测头(310)沿所述第一方向位置可调地设置于所述第二安装支架(330)。

5.根据权利要求1所述的移动端的限位装置，其特征在于，所述限位组件(200)还包括限位挡板(220)，所述限位挡板(220)和所述限位块(210)二者中，其中一个设置于所述移动端，另一个设置于所述工作台(102)，所述限位块(210)能选择性与所述限位挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：马方波，郑锋标，兰艳平，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：