一种用于LDI设备的高功率蓝紫光混波激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于LDI设备的高功率蓝紫光混波激光器，属于蓝光半导体激光器领域，包括k种波长的单管蓝紫光激光器，每种波长的单管蓝紫光激光器有q个，并构成一组激光器阵列；在激光器的出射方向分别设有快慢轴准直镜组和一号反射镜；在快轴平行光束的传输方向设有数个二号反射镜和数个二向分色镜的组合，二号反射镜和二向分色镜使得所述快轴平行光束转向，并在慢轴方向上排列，慢轴排列后的光束整体呈矩形；其中，二向分色镜根据不同入射光波长的需要，选用对应的型号；排列后的矩形光束被聚焦耦合到单芯光纤中输出；本发明专利技术有效提升了不同波长光斑的同心度及能量均匀度，具有高同心度、高能量密度、高亮度和高集成度的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于蓝光半导体激光器领域，具体涉及一种用于ldi设备的高功率蓝紫光混波激光器。

技术介绍

1、激光直接成像(laser direct imaging，ldi)技术是利用激光直接成像原理，将线路图形以激光束的形式直接投影在涂有光致抗蚀剂的制板上，从而实现图形转移的一种光刻技术。近年来，蓝紫光半导体激光器以其转换效率高、体积小、线宽窄、寿命长以及稳定性高等优势迅速成为ldi设备的核心光源。

2、蓝紫光半导体激光器能够产生高质量的光束，通过dmd数字微镜器件进行精确的控制和调制，实现高精度、高速度的光刻。其中，应用最为广泛的是405nm半导体激光器。为同时满足多种光致抗蚀剂、不同的光刻需求以及美观性要求，ldi设备使用多波长组合光源进行曝光程序。市场中常见的是将375、405、425和440nm等2种及以上不同波长的激光器组装于一台ldi设备中联用。

3、目前，ldi设备在使用多台不同波长的激光器时，大多采用多芯捆绑光纤输出混波激光。然而，这种方式不能使多个波长的光斑有效地重合在一起，同心度较差。而且，光纤端面到工作面的距离越小本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于LDI设备的高功率蓝紫光混波激光器，其特征在于，包括k种波长的单管蓝紫光激光器(1)，其中，k值大于1，每种波长的单管蓝紫光激光器(1)有q个，该q个单管蓝紫光激光器(1)构成一组激光器阵列；在所述q个单管蓝紫光激光器(1)的出射方向分别设有q个快慢轴准直镜组和q个一号反射镜(4)，每个快慢轴准直镜组包括一个快轴准直镜(2)和一个慢轴准直镜(3)；每组激光器阵列的出射光线经对应的快慢轴准直镜组和一号反射镜(4)后，形成一组快轴平行光束；

2.如权利要求1所述的一种用于LDI设备的高功率蓝紫光混波激光器，其特征在于，k＝3，三种波长分别为λ1、λ2和λ3，且λ1、λ...

【技术特征摘要】

1.一种用于ldi设备的高功率蓝紫光混波激光器，其特征在于，包括k种波长的单管蓝紫光激光器(1)，其中，k值大于1，每种波长的单管蓝紫光激光器(1)有q个，该q个单管蓝紫光激光器(1)构成一组激光器阵列；在所述q个单管蓝紫光激光器(1)的出射方向分别设有q个快慢轴准直镜组和q个一号反射镜(4)，每个快慢轴准直镜组包括一个快轴准直镜(2)和一个慢轴准直镜(3)；每组激光器阵列的出射光线经对应的快慢轴准直镜组和一号反射镜(4)后，形成一组快轴平行光束；

2.如权利要求1所述的一种用于ldi设备的高功率蓝紫光混波激光器，其特征在于，k＝3，三种波长分别为λ1、λ2和λ3，且λ1、λ2和λ...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海涛，李静文，张伟樯，石书丽，王小华，朱晓鹏，
申请(专利权)人：天津天成光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：