一种截止滤光膜膜系及其镀制方法技术

本发明专利技术公开了一种用于镀制Ｋ９玻璃基底４５°胶合棱镜截止滤光膜的膜系及其镀制方法，属于光学薄膜制造技术。本发明专利技术的特点是膜系对１．０６４μｍ波段反射率可达到９９％，对６００ｎｍ～８００ｎｍ波段范围透射率可达到９８％，镀制此类膜系的光学器件可用于激光、微光双光路光学系统的仪器，具有将两波段光分开的作用，对提高光学仪器性能、减小仪器的重量及体积具有重要意义。未查阅到与本发明专利技术膜系、镀制方法相同的截止滤光膜的报道或资料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学薄膜制造技术，涉及对棱镜截止滤光膜膜系和镀制方法的改进。
技术介绍
1.064ym高反射率、600nm 800nm高透射率棱镜截止滤光膜应用于激光、微光"二光合 一"的光学系统，可减小仪器体积与重量。据了解，现用于镀制此类截止滤光膜使用的材料 多为二氧化钛、二氧化硅组合的多层膜，膜层吸收大，透射特性差，透射区域的透射率在 93%以下。本专利技术选用五氧化二钽、二氧化硅给合的对称膜系结构，具有透射特性好、工艺 简单，重复性好的优点，透射区域膜层透射率可达到98%。未査阅到与本专利技术膜系、镀制方 法相同的截止滤光膜的报道或资料。
技术实现思路
本专利技术的目的是为激光、微光"二光合一"的光学系统提供分光元件，减小仪器体积 与重量，提高仪器性能及可靠性。本专利技术的技术方案是 一种K9玻璃基底45。胶合棱镜的1.064ym高反射率、600nm 800nm高透射率截止滤光膜膜系，其特征在于，该膜系从内到外由37层膜组成，属部分层优 化的对称膜系结构，使用三种膜料，第一层和最后一层为氟化镁，其余所有偶数层均为二氧 化硅，所有奇数层均为五氧化二钽。该膜系每层膜使用的膜料及光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种截止滤光膜膜系，其特征在于，该膜系从内到外由３７层膜组成，属部分层优化的对称膜系结构，使用三种膜料，第一层和最后一层为氟化镁，其余所有偶数层均为二氧化硅，所有奇数层均为五氧化二钽；第一层和最后一层的光学厚度是２７９ｎｍ，第二层和第三十六层的光学厚度是２１８ｎｍ，第三层和第三十五层的光学厚度是３３９ｎｍ，其余所有偶数层的光学厚度均为３９６ｎｍ，所有奇数层的光学厚度均为３０２ｎｍ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凤玉，王一坚，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]