【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种声表面波传感器的制作技术,特别是涉及。
技术介绍
声表面波SAW是一种沿弹性基体表面传播的声波,由于声表面波在介质表面进行换能和 传播,所以信息的注入、提取、处理都可方便地实现。声表面波传感器问世于上世纪70年代 ,它是传感器的后起之秀。声表面波气体传感器的基本原理是通过声表面波器件表面所覆盖 的敏感膜对待侧气体的吸附引起声表面波传感器速度的变化,从而改变声表面波振荡器的振 荡频率,以此来实现对气体的监控和测量。与其他类型的传感器相比,声表面波气体传感器 有很多优良的特性,具有体积小、重量轻、精度高、分辨率高、抗干扰能力强、灵敏度高、 有效检测范围线性好等特点,可以利用集成电路中的平面制作工艺,能够实现微型化和集成 化,适于低成本、大批量生产。但现有的声表面波传感器也存在较多问题,如目前使用于声表面波气体传感器的一些 合金薄膜在反应离子刻蚀中有局限性,主要表现为刻蚀困难、刻蚀的图形界面粗糙等。高频 器件的制作大多采用干法刻蚀技术法等方法。其中,反应离子刻蚀(RIE)法是用具有一定 轰击能量的活性离子与固体表面强化化学反应的过程,既利用了离子的溅射作用,又有活性粒 子的化学作用,能提供对电极侧剖面的精确控制而得到很陡直的侧剖面,因此,被广泛使用 于高频声表面波SAW器件的制作。目前,铝膜普遍采用氯气和氯化硼混合气体进行刻蚀,如 果薄膜金属和刻蚀气体反应生成沸点低、易挥发的氯化物,刻蚀就能够精确地控制侧剖面。
技术实现思路
为了提高换能器性能,提高器件的使用寿命,本专利技术提供了一种声表面波换能器的制作 方法。所述技术方案如下本专利技术的,包括 ...
【技术保护点】
一种声表面波换能器的制作方法,其特征在于,所述方法包括下列步骤: 步骤A、在压电基体上依次沉积钛、铝钼合金、钛、铝钼合金四层薄膜; 步骤B、涂覆光刻胶并曝光成表面声波换能器图形; 步骤C、采用氯气和氯化硼的混合气体刻蚀掉光 刻胶未掩盖的非图形区域; 步骤D、去除光刻胶得到声表面波换能器图形。
【技术特征摘要】
1.一种声表面波换能器的制作方法,其特征在于,所述方法包括下列步骤步骤A、在压电基体上依次沉积钛、铝钼合金、钛、铝钼合金四层薄膜;步骤B、涂覆光刻胶并曝光成表面声波换能器图形;步骤C、采用氯气和氯化硼的混合气体刻蚀掉光刻胶未掩盖的非图形区域;步骤D、去除光刻胶得到声表面波换能器图形。2.根据权利要求l所述的一种声表面波换能器的制作方法,其特征在于,所述步骤A中, 选择石英、硼酸锂或钽酸锂压电晶体为压电基体。权利要求33.根据权利要求l所述的一种声表面波换能器的制作方法,其特征在于,所述步骤A中,采用磁控溅射或射频溅射方法沉积四层薄...
【专利技术属性】
技术研发人员:李冬梅,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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