【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体涂胶机的废液收集，具体地说是一种密封集成式废液收集装置。
技术介绍
1、目前涂胶机的废液收集装置主要包含废液桶及废液汇集盒。机台内部各液路管路的废液经由废液汇集盒汇总后统一排至废液桶内，废液汇集盒排液端口与废液桶进液口相接处之间设有导流管。在进行作业时导流管的下端伸入至废液桶进液口中，以使废液汇集盒中废液准确进入废液桶内。废液桶外侧配置液位传感器用于检测废液桶内的废液量，液位过高则会报警并传输信号，停止相关工艺。此时可以使导流管的下端从废液桶中脱离，从而进行废液桶的更换。但由于导流管的外周面与废液桶进液口会存在一定缝隙，容易使得在进行作业过程中废液桶内的挥发的废液从该缝隙扩散出来，导致有异味存在，从而影响工作环境。
技术实现思路
1、针对上述问题，本技术的目的在于提供一种密封集成式废液收集装置。
2、本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
3、一种密封集成式废液收集装置，包括废液桶，所述废液桶的顶部具有废液桶进液口，还包括主支架、废液汇集盒、废液汇...
【技术保护点】
1.一种密封集成式废液收集装置，包括废液桶(1)，所述废液桶(1)的顶部具有废液桶进液口(101)，其特征在于：还包括主支架(2)、废液汇集盒(3)、废液汇集盒支撑架(4)、导流管(5)及导流管升降驱动结构；
2.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述导流管(5)的外周面上开设有用于卡住所述密封圈(6)的卡接槽。
3.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述导流管(5)的轴向中心线与所述废液桶进液口(101)的轴向中心线共线。
4.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特...
【技术特征摘要】
1.一种密封集成式废液收集装置，包括废液桶(1)，所述废液桶(1)的顶部具有废液桶进液口(101)，其特征在于：还包括主支架(2)、废液汇集盒(3)、废液汇集盒支撑架(4)、导流管(5)及导流管升降驱动结构；
2.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述导流管(5)的外周面上开设有用于卡住所述密封圈(6)的卡接槽。
3.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述导流管(5)的轴向中心线与所述废液桶进液口(101)的轴向中心线共线。
4.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述导流管升降驱动结构包括气缸(7)及连接臂(8)，所述气缸(7)安装于所述废液汇集盒支撑架(4)上，所述连接臂(8)的一端与所述气缸(7)的驱动端连接，所述连接臂(8)的另一端作为导流管升降驱动结构的输出端与所述导流管(5)连接。
5.根据权利要求4所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述主支架(2)上安装有导轨固定板(9)，所述导轨固定板(9)上安装有竖直导轨(10)，所述连接臂(8)上设有与所述竖直导轨(10)滑动连接的滑块(11)，所述竖直导轨(10)的长度方向、所述气缸(7)的驱动端的轴向中心线、所述废液桶进液口(101)的轴向中心线均相互平行。
6.根据权利要求1所述的一种密封集成式废液收集装置，其特征在于：所述主支架(2)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：王钺淞，郭生华，龚明，杨佳雨，任晴雯，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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