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本技术属于半导体涂胶机的废液收集技术领域，具体地说是一种密封集成式废液收集装置，包括废液桶，废液桶的顶部具有废液桶进液口，还包括主支架、废液汇集盒、废液汇集盒支撑架、导流管及导流管升降驱动结构，导流管的外周面上位于废液桶进液口上方处设有密封...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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