太阳能硅晶片激光四线划槽装置制造方法及图纸

一种太阳能硅晶片激光四线划槽机，包括激光器、外设光路、可控的工作平台。该激光四线划槽机使用的是Ｎｄ：ＹＡＧ激光器，其内设有Ｑ开关、全反镜、半透半反镜、光阑、输出镜、扩束镜，经过各光学元件，激光器内形成四个对称的谐振腔，在声光Ｑ开关调制下，每个谐振腔发出一束激光，分别入射到对应的反射镜，再经过聚焦透镜作用，形成光能量、光束间距均可调的四束激光，从而实现对太阳能硅晶片四线同步加工的目的。光束间距的调节是通过反射镜组内各个反射镜的位置移动来调节的，满足太阳能硅晶片不同槽间距的加工要求，其间距调节范围为１～４ｍｍ。利用四束激光划槽，生产率提高３００％，可节约能源５０％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能硅晶片四束激光划槽装置，属于太阳能硅晶片加工

技术介绍
太阳能是当今最为光明的新兴产业，目前世界各国正在研究的太阳电池主要有单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳电池。太阳能光伏电池(简称光伏电池)用于把太阳光能直接转化为电能。在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面，单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池，多晶硅比单晶硅转换效率略低，但价格更便宜。另外，还有其他类型的太阳电池。 目前在太阳能硅晶片激光划槽加工领域，国内外盛行的划槽机都是利用单束激光在工件上进行加工，但利用单束激光加工出现的一个瓶颈问题是划槽速度慢，严重影响了加工效率，使产能跟不上需要的速度。因此如何实现太阳能硅晶片划槽高效率加工已成为一个急待解决的问题。据目前资料查询，国内外尚无关于太阳能多线加工技术方面的报道，更没有此类产品的出现。为此，本专利技术提出了一种太阳能硅晶片四束激光划槽技术，它利用在一个激光器内经过一系列光学元件的组合形成四个激光谐振腔，并出射四束能量相同的激光束，从而实现四线加工技术，使生产率可以提高300%，能源可以节约50%。它主要应用于硅、锗、砷化镓等材料的划槽与切割，特别适用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能硅晶片激光四线划槽机，包括激光器、外设光路、可控的工作平台，以及与激光器相匹配的激光电源、声光Ｑ开关驱动器、水冷机、工控机控制系统，其中所述的激光器内设有激光工作物质（Ｎｄ：ＹＡＧ晶体）、激光泵浦源、声光Ｑ开关、全反射平面镜、半透半反镜、全反射直角棱镜、光阑、输出镜、扩束镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，姚建铨，马贵兰，朱超男，金仲伟，陆晶，
申请(专利权)人：无锡浩波光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]