【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅片，尤其涉及一种多晶硅片加工装置及其加工方法。
技术介绍
1、点胶，是一种工艺，也称施胶、涂胶、灌胶、滴胶等，是把电子胶水、油或者其他液体涂抹、灌封、点滴到产品上，让产品起到黏贴、灌封、绝缘、固定、表面光滑等作用。
2、现阶段进行多晶硅片加工点胶多数采用点胶机进行点胶，在点胶时，车间内的灰尘有可能掉落到半导体或者胶上，导致点胶过程不够整洁，点胶后的硅片表面上沾染有灰尘，影响产品质量，同时，现阶段的无尘点胶设备机构复杂，造价昂贵，对于中小企业来说，购买和维护成本较高，另外，非全自动的点胶机需要工作人员手动更换硅片，在更换的过程中，点胶操作暂停，浪费了时间，造成点胶效率不高的现象发生，还可以进一步改进，从而提高点胶效率
3、经检索，中国专利申请号为cn211887711u的专利，公开了一种用于硅片的点胶装置，包括安装台和丝杠，所述安装台上方安装有丝杠，且丝杠表面安装有点胶头。有益效果：本技术采用了贯流风箱、第一点胶槽、第二点胶槽、连箱和抽气泵，在进行点胶时，贯流风箱内部的贯流风机带动贯流风轮转动产...
【技术保护点】
1.一种多晶硅片加工装置，包括操作台外壳(1)，其特征在于，所述操作台外壳(1)的顶部设置有与之转动连接的隔尘挡板(8)，所述隔尘挡板(8)上设置有点胶操作口(12)，所述隔尘挡板(8)的顶部设置有表面清理机构，所述隔尘挡板(8)的底部设置有吸尘箱(19)和吸尘盒(22)，所述吸尘箱(19)和所述吸尘盒(22)通过管道连接有抽气泵，所述吸尘箱(19)内设置有固尘机构，所述吸尘盒(22)设置于所述点胶操作口(12)外围，所述吸尘箱(19)的下车设置有物料支撑台(35)，所述物料支撑台(35)的下侧设置有横向电动导轨(37)和纵向电动导轨(38)。
2.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片加工装置，包括操作台外壳(1)，其特征在于，所述操作台外壳(1)的顶部设置有与之转动连接的隔尘挡板(8)，所述隔尘挡板(8)上设置有点胶操作口(12)，所述隔尘挡板(8)的顶部设置有表面清理机构，所述隔尘挡板(8)的底部设置有吸尘箱(19)和吸尘盒(22)，所述吸尘箱(19)和所述吸尘盒(22)通过管道连接有抽气泵，所述吸尘箱(19)内设置有固尘机构，所述吸尘盒(22)设置于所述点胶操作口(12)外围，所述吸尘箱(19)的下车设置有物料支撑台(35)，所述物料支撑台(35)的下侧设置有横向电动导轨(37)和纵向电动导轨(38)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片加工装置，其特征在于，所述隔尘挡板(8)的一侧设置有转动连接于所述操作台外壳(1)的转动轴(9)，所述隔尘挡板(8)的上表面设置有防尘膜(10)，所述点胶操作口(12)的周边设置有挡尘环(11)，所述表面清理机构包括设置在操作台外壳(1)上的导向滑轨(13)、第一滑块(14)、第二滑块(15)、通过第一滑块(14)和第二滑块(15)滑动连接于所述导向滑轨(13)的清理杆(16)和设置在清理杆(16)下侧的清理刷(17)，所述清理杆(16)的上侧设置有把手(18)，所述第一滑块(14)和所述第二滑块(15)与所述导向滑轨(13)之间互动连接。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片加工装置，其特征在于，所述吸尘箱(19)的底部设置有多个均匀排列的吸尘口(23)，多个所述吸尘口(23)之间的设置有固尘块(21)，所述固尘块(21)设置有多个，所述吸尘箱(19)的底部外壁设置有安装架(20)，多个所述固尘块(21)通过设置的连接板与所述安装架(20)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅片加工装置，其特征在于，所述吸尘箱(19)的内壁对应所述吸尘口(23)的位置设置有灰尘防漏块(24)，所述灰尘防漏块(24)，所述灰尘防漏块(24)由内锥形管(241)和外锥形管(242)组成，所述内锥形管(241)靠近所述吸尘口(23)的管口直径小于远离所述吸尘口(23)的管口直径，所述外锥形管(242)靠近所述吸尘口(23)的管口直径大于大院里所述吸尘口(23)的管口直径，所述灰尘防漏块(24)设置有多个，多个所述灰尘防漏块...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅川奇，张守连，
申请(专利权)人：江西久顺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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