３００ｍｍ立式氧化炉炉体热电偶固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板（５），该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块（３），热电偶（２）固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板（１），该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓（４）固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本发明专利技术适用于３００ｍｍ立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的热电偶固定装置。
技术介绍
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧化炉，大 都是卧式结构，其温度均勻性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，自动化程度 低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。特别是炉体的热电偶固 定装置固定方式不够理想，以往卧式炉体热电偶的固定方式为径向固定结构，易弄断热电 偶，同时轴向方向几乎没有约束，所以，需要对其结构进行改进。因此，需要提出一种结构改 进的立式氧化炉炉体热电偶固定方式。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉热电偶固定 装置，该装置结构科学、新颖、简单适用，固牢性强，准确地控制热电偶各个方向的位置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉炉体热电偶固定 装置，其特征在于设有固定板，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定 设置一个固定块，热电偶固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设有一个直边，固定块 的一侧固定设有一个挡板，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶 卡住，所述固定板通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间 隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本专利技术的炉体热电偶固定装置通过精确的设计计算和合理巧妙的设计，使热电偶 能够全方位固定而且易于更换。附图说明图1是本专利技术的整体结构示意图；图2是本专利技术的侧视结构示意图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明实施例参见附图，300mm 立式氧化炉炉体热电偶固定装置，设有固定板5，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽， 在该凹槽内固定设置一个固定块3，热电偶2固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设 有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板1，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一 起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓4固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电 偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝 缘、耐热材料制成。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板（５），该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块（３），热电偶（２）固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设计有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板（１），该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓（４）固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。

【技术特征摘要】
一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设计有一个直边，固定块的一侧固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟华，董金卫，胡星强，艾伦埃马米，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]