３００ｍｍ立式氧化炉石英舟旋转装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有ＳｉＣ转盘，在该ＳｉＣ盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装置，上部设有密封腔，密封腔设有进出气管，ＳｉＣ转盘的下面设有带水冷却腔炉门，炉门底部固定设有轴罩，在轴罩的底端与ＳｉＣ转盘的固定轴之间设有密封环；在炉门下面设有数个缓冲器，在炉门四周下面还设有密封挡板。本发明专利技术适用于３００ｍｍ立式氧化炉石英舟的旋转装置，结构完善，控制灵活，水平、垂直位置控制精确。从而使硅片受热均匀，提高了硅片膜厚均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉中石英舟旋转装置。
技术介绍
氧化炉是给硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现用的氧化炉，大都 是卧式结构，其温度均勻性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，自动化程度 低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。因此，需要提出一种结 构改进的立式氧化炉。在此前的立式氧化炉的石英舟升降机构上，石英舟在工艺过程中是 不带旋转的，石英舟在升降机构上只做上升、下降运动，造成硅片表面的温度、气体浓度均 不够均勻，影响产品质量。在300mm硅片生产线上影响尤为严重。因此，需要对其进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉石英舟 旋转装置，该装置结构科学、设计新颖、完善适用，位置控制灵活精确，有力地改善了硅片表 面的温度及气体的均勻性状态，大大提高了硅片氧化膜的质量。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉石英舟旋转装 置，其特征在于设有步进电机，在石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有 固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接，做工艺时，SiC转 盘与保温筒连接，带动保温桶及舟旋转，传递扭矩；在所述固定轴的下部设有舟旋转定位装 置，控制舟的精确位置；在固定轴的上部设有包裹在固定轴外围的密封腔，密封腔设有氮气 进、出气管与外面氮气气源连通，一定流量的高纯氮气通过密封腔，使其压力大于工艺腔的 工艺气体，实现旋转密封；在所述SiC转盘的下面设有炉门，在该炉门中设有水冷却腔；炉 门底部固定设有轴罩，该轴罩包覆在密封腔的外面，并在轴罩的底端与所述SiC转盘的固 定轴之间设有密封环；在炉门下面垂直设有数个缓冲器，该缓冲器为圆柱体，圆柱体里面垂 直设有顶柱，在该顶柱下面设有压簧，缓冲器沿圆周均勻分部，调节舟的平衡，使之保持水 平，同时避免工艺门关闭时石英门板与石英管法兰之间的压紧力过大；在炉门四周下面设 有密封挡板，防止微量工艺气体流入微环境。本专利技术的旋转装置具有结构完善，密封性能好，位置控制精确，能保证硅片温度及 气流的均勻，从而提高硅片加工质量的优点。附图说明图1是本专利技术的整体结构示意图。 具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明实施例参见附图，300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，其特征在于设有步进电机2，石英舟的下方设有SiC材料制成的 转盘1，在该SiC转盘的底部中央设有固定轴1.1，固定轴的下端设有带轮1.2，该带轮通过 传动带2. 1与步进电机传动连接；在所述固定轴的下部设有舟旋转定位装置3，在固定轴 的上部设有包裹在固定轴外围，采用聚四氟乙烯制成的密封腔4，密封腔设有氮气进出气 管4. 1与外面氮气气源连通，在所述SiC转盘的下面设有炉门5，在该炉门中设有水冷却腔 5. 1，炉门底部固定设有轴罩5. 2，该轴罩包覆在密封腔的外面，并在轴罩的底端与所述SiC 转盘的固定轴之间设有密封环5. 3 ；在炉门下面设有三个缓冲器6，该缓冲器为圆柱体，圆 柱体里面垂直设有顶柱6. 1， 在该顶柱下面设有压簧6. 2 ；在炉门四周下面还设有密封挡板 7。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉石英舟旋转装置，其特征在于：设有步进电机（２），在石英舟的下方设有ＳｉＣ转盘（１），在该ＳｉＣ盘的底部中央设有固定轴（１．１），固定轴的下端设有带轮（１．２），该带轮通过传动带（２．１）与步进电机传动连接；在所述固定轴的下部设有舟旋转定位装置（３），在固定轴的上部设有包裹在固定轴外围的密封腔（４），密封腔设有氮气进、出气管（４．１）与外面氮气气源连通；在所述ＳｉＣ转盘的下面设有炉门（５），在该炉门中设有水冷却腔（５．１），炉门底部固定设有轴罩（５．２），该轴罩包覆在密封腔的外面，并在轴罩的底端与所述ＳｉＣ转盘的固定轴之间设有密封环（５．３）；在炉门下面设有数个缓冲器（６），该缓冲器为圆柱体，圆柱体里面垂直设有顶柱（６．１），在该顶柱下面设有压簧（６．２）；在炉门四周下面还设有密封挡板（７）。

【技术特征摘要】
一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，其特征在于设有步进电机(2)，在石英舟的下方设有SiC转盘(1)，在该SiC盘的底部中央设有固定轴(1.1)，固定轴的下端设有带轮(1.2)，该带轮通过传动带(2.1)与步进电机传动连接；在所述固定轴的下部设有舟旋转定位装置(3)，在固定轴的上部设有包裹在固定轴外围的密封腔(4)，密封腔设有氮气进、出气管(4.1)与外...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟华，赵星梅，董金卫，王喆，赛义德赛迪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]