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本发明公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有ＳｉＣ转盘，在该ＳｉＣ盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装置，上部设有密封腔，密封...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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