【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及钽粉制造,尤其涉及一种高纯钽粉的制备方法。
技术介绍
1、钽是稀有高熔点、抗腐蚀、导电、导热性能好、化学稳定性高、金属表面氧化膜介电常数大等具有优异性能的特殊材料。而用于溅射靶材上使用的钽粉对纯度要求极高。
2、在钽粉生产过程中,传统的生产方式为:先将氟钽酸钾在200—350℃温度下进行活化,破碎为大小均匀的粉末颗粒以增加其表面活性,降低其夹带的游离氢氟酸对活化罐体及还原罐等设备的腐蚀;将稀释剂加热至100-350℃烘干去其水分后,按一定比例加入到还原罐中,再将还原罐吊入还原炉中升温熔融搅拌后注入液态金属钠进行还原。待还原完成,罐体冷却后将罐体内物料破碎后转运至水洗工序。水洗过后经酸洗、洗酸、烘干、过筛、真空热处理、过筛、混料、包装得到冶金级钽粉产品。
3、中国专利cn103447544a提供粒度分布集中可控的高纯钽粉制备方法,该方法是钽粉制成高纯钽锭后氢化制粉、脱氢成高纯钽粉,该方法工序长、所需能耗很大,同时采用到氢气,存在安全隐患。
4、中国专利cn104148654a提供一种靶材级
...【技术保护点】
1.一种高纯钽粉的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述S1中的氟钽酸钾中高熔点金属杂质W、Mo、Nb≤1ppm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述S1中的稀释剂为氯化钠或氯化钾。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述S2中第二斗式提升机完成提升作业后使用压缩空气吹干净。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氟钽酸钾上料仓的底部和稀释剂上料仓的底部分别安装有用于监测重量变化的重量传感器。
6.根据权利要求1所述的制
...【技术特征摘要】
1.一种高纯钽粉的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述s1中的氟钽酸钾中高熔点金属杂质w、mo、nb≤1ppm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述s1中的稀释剂为氯化钠或氯化钾。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述s2中第二斗式提升机完成提升作业后使用压缩空气吹干净。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氟钽酸钾上料仓的底部和稀释剂上料仓的底部分别安装有用于监测重量变化的重量传感器。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述还原罐的搅拌桨插入深度为物...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹林燕,月日辉,
申请(专利权)人:广东广晟稀有金属光电新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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