【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆研磨，具体地说，涉及一种检测研磨胶带张力的工装夹具。
技术介绍
1、目前的胶带研磨机通过卷出电机，卷取电机及胶带传送电机完成研磨胶带的收放，当研磨胶带接触到晶圆的notch后会有从+32°到-32°的旋转摆动以完成研磨。
2、但是，在胶带传送电机或者滚筒轮或者导向轮等部件出现一样或者多样损坏时研磨胶带的张力就会减小导致出现研磨不干净，从而导致产品返工甚至报废。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的上述问题，本专利技术提供了一种检测研磨胶带张力的工装夹具。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术通过下述技术方案得以解决：
3、一种检测研磨胶带张力的工装夹具，其包括分别设置于研磨胶带两侧的支撑导轮和检测件，其中，所述支撑导轮的数量至少为两个；
4、所述支撑导轮能够对所述研磨胶带进行支撑，以使处于相邻的两个所述支撑导轮之间的所述研磨胶带对所述检测件进行挤压；
5、所述检测件能够实时检测所述检测件的挤压力。
...
【技术保护点】
1.一种检测研磨胶带张力的工装夹具，其特征在于：包括分别设置于研磨胶带两侧的支撑导轮和检测件，其中，所述支撑导轮的数量至少为两个；
2.根据权利要求1所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件为压力传感器或微动开关。
3.根据权利要求1或2所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件设于卷出电机与胶带传送电机之间。
4.根据权利要求1或2所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件设于卷取电机与胶带传送电机之间。
5.根据权利要求1或2所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件与外部报警器电性连接。
6.根据权利要求1或2所述的...
【技术特征摘要】
1.一种检测研磨胶带张力的工装夹具，其特征在于：包括分别设置于研磨胶带两侧的支撑导轮和检测件，其中，所述支撑导轮的数量至少为两个；
2.根据权利要求1所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件为压力传感器或微动开关。
3.根据权利要求1或2所述的工装夹具，其特征在于：所述检测件设于卷出电机与胶带传送电机之间。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭飞，
申请(专利权)人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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