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本发明涉及晶圆研磨技术领域，具体地说，涉及一种检测研磨胶带张力的工装夹具，包括分别设置于研磨胶带两侧的支撑导轮和检测件，其中，所述支撑导轮的数量至少为两个；所述支撑导轮能够对所述研磨胶带进行支撑，以使处于相邻的两个所述支撑导轮之间的所述研磨...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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