【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于检测，特别涉及维恩过滤器及相关的带电粒子束检测仪器及成像设备。
技术介绍
1、维恩过滤器主要由一组同轴复合的电偏转器和磁偏转器组成，通过改变电极电压或线圈激励电流，在旁轴空间产生正交的电场和磁场，来调整或平衡作用在穿过的带电粒子上的电场力和磁场力，从而控制带电粒子的运动轨迹。由于磁场力还与质量和速度有关，故可以实现对特定质量离子的分离、特定能量的离子的分离，广泛用检测仪器领域的能谱仪或者质谱仪，在电镜领域还用于实现主电子束的单色过滤和信号电子(包括二次电子和背散射电子)离轴检测。
2、因半导体工艺及其他科研生产领域无损检测需求的要求，基于拒斥场物镜的低能高分辨率电镜得到了快速发展，作为成像核心的信号电子探测器，需要置于电子光学镜筒内，探测器必须避让主光轴，即主电子束的下行通道，置于光轴一侧或环绕光轴，相应的，为了能够检测沿轴上行的信号电子，会在探测器前引入维恩过滤器，把上行信号电子偏离轴外；根据维恩过滤器的原理，可以驱动和配比电磁激励，使得下行的主电子束所受电磁力抵消，不受维恩过滤器影响，而维恩过滤器只影响上行...
【技术保护点】
1.一种维恩过滤器，包括电偏转器和磁偏转器；其特征在于：
2.根据权利要求1所述的维恩过滤器，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的维恩过滤器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的维恩过滤器，其特征在于：
5.一种维恩过滤器，包括电偏转器和磁偏转器；其特征在于：
6.根据权利要求5所述的维恩过滤器，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的维恩过滤器，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的维恩过滤器，其特征在于：
9.根据权利要求7所述的维恩过滤器，其特征在于：
...
【技术特征摘要】
1.一种维恩过滤器，包括电偏转器和磁偏转器；其特征在于：
2.根据权利要求1所述的维恩过滤器，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的维恩过滤器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的维恩过滤器，其特征在于：
5.一种维恩过滤器，包括电偏转器和磁偏转器；其特征在于：
6.根据权利要求5所述的维恩过滤器，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的维恩过滤器，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的维恩过滤器，其特征在于：
9.根据权利要求7所述的维恩过滤器，其特征在于：
10.根据权利要求1至9中任一项所述的维恩过滤器，其特征在于：
11.根据权利要求1至9中任一项所述的维恩过...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵焱，
申请(专利权)人：苏州矽视科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。