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本发明属于检测技术领域，涉及维恩过滤器及相关的带电粒子束检测仪器及成像设备。维恩过滤器包括电偏转器和磁偏转器；电偏转器包括至少一组对置的弧形的电极对，各组电极对呈同轴共圆周设置，电极对分别被电压激励产生各自电场；磁偏转器包括至少一组对置的弧...
该专利属于苏州矽视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽视科技有限公司授权不得商用。

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