【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子显微镜，尤其涉及一种扫描电子显微镜图像质量增强方法与系统。
技术介绍
1、扫描电子显微镜(sem)是一种利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测二次电子或散射电子信号来获得高分辨率图像的显微镜。图像信噪比与图像分辨率是sem图像质量的关键指标，前者描述了图像信号与噪声的比例，后者描述了图像能够分辨的最小细节大小。对于电子束晶圆量检测设备，高信噪比与高分辨率的图像能够提供更准确的量检测数据。
2、用于芯片生产过程中的晶圆量/检测设备，一般要求量检测过程中对晶圆本身不能造成损伤，电子束在扫描成像的时候能量不可以太大，这会使得最终的sem图像信噪比偏低，图像模糊，有效信息提取困难。为了解决这一问题，通常在sem成像过程中会对目标区域进行连续多次扫描，获得多帧图像，并通过多帧图像进行信息融合，输出最终图像。随着大规模集成电路制程工艺的进步，特别是纳米尺度的半导体制造领域，机械、电子束、样品等由于震动或电信号毛刺产生的抖动对sem图像质量的影响变得更加显著。即使是微小的抖动也可能导致图像质量的显著下降，从而影响电子束晶圆...
【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜图像质量增强方法，其特征在于，包括步骤：
2.如权利要求1所述的图像质量增强方法，其特征在于，步骤S2具体包括：
3.如权利要求1所述的图像质量增强方法，其特征在于，步骤S4具体包括：
4.如权利要求2或3所述的图像质量增强方法，其特征在于，所述相关性指标为皮尔逊积矩相关系数、斯皮尔曼秩次相关系数或肯德尔秩次相关系数；假设表示n对原始数据，对Xi进行升序排列，得到序列假设Xj位于序列中的第k个位置，则定义数字k为Xj的秩次，记为Pj；类似地定义Yj的秩次并记为Qj；记sgn(·)为符号函数，则：
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【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜图像质量增强方法，其特征在于，包括步骤：
2.如权利要求1所述的图像质量增强方法，其特征在于，步骤s2具体包括：
3.如权利要求1所述的图像质量增强方法，其特征在于，步骤s4具体包括：
4.如权利要求2或3所述的图像质量增强方法，其特征在于，所述相关性指标为皮尔逊积矩相关系数、斯皮尔曼秩次相关系数或肯德尔秩次相关系数；假设表示n对原始数据，对xi进行升序排列，得到序列假设xj位于序列中的第k个位置，则定义数字k为xj的秩次，记为pj；类似地定义yj的秩次并记为qj；记sgn(·)为符号函数，则：
5.如权利要求4所述的图像质量增强方法，其特征在于，所述相关性指标为广义相关系数：
6.一种基于权利要求5所述方法的图像质量增强系统，其特征在于，包括：图像采集单元和fpga数字电路单元，以及用于控制图像采集单元和fpga数字电路单元的控制器单元；所述图像采集单元用于根据设置的图像采集参数获取sem图像，并将sem图像的数据流输入到fpga数字电路单元中进行图像处理；所述fpga数字电路单元用于对输入的sem图像数据流进行包括帧间对齐和行间对齐的图像处理，并输出质量增强后的sem图像；所述控制器单元用于设置图像采集单元的图像采集参数以及fpga数字电路单元的图像处理参数。
7.如权利要求6所述的图像质量增强系统，其特征在于，所述fpga数字电路单元包括数组处理单元，用于按照滑动匹配的规则确定参与计算的数据范...
【专利技术属性】
技术研发人员：许文祥，彭勃，马如豹，
申请(专利权)人：苏州矽视科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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