【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光电子制造，特别涉及一种改善漏电的发光二极管及其制备方法。
技术介绍
1、发光二极管(英文：light emitting diode，简称：led)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。
2、相关技术中，发光二极管通常包括：外延层、电极和钝化层，外延层包括依次层叠的n型层、有源层和p型层。p型层的表面具有露出n型层的凹槽，钝化层位于p型层的表面上，且位于所述凹槽内，电极位于钝化层的表面上，且通过钝化层上的通孔分别与p型层和n型层连接。
3、由于凹槽存在呈阶梯状的拐角区域，层叠在拐角区域的钝化层的致密性较差。位于拐角区域的钝化层在发光二极管工作过程中，容易因反复热胀冷缩而发生破裂，进而导致水汽进入并腐蚀有源层，致使发光二极管漏电失效。
技术实现思路
1、本公开实施例提供了一种改善漏电的发光二极管及其制备方法，能提升改善水汽侵入有源层致使发光二极管漏电失效的问...
【技术保护点】
1.一种发光二极管的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火包括：
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火时，控制退火时间大于或者等于1min。
4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火之后，还包括：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在氨气和氮气的气氛下，再次对所述外延层进行退火包括：
6.根据...
【技术特征摘要】
1.一种发光二极管的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火包括：
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火时，控制退火时间大于或者等于1min。
4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，在无氮气和氨气的气氛下，对所述外延层进行退火之后，还包括：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在氨气和氮气的气氛下，再次对所述外延层进行退火包括：
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，再次对所述外延层进行退火时，控制反应腔内的氮气和...
【专利技术属性】
技术研发人员：张奕，尹涌，陆香花，徐义兰，朱广敏，
申请(专利权)人：京东方华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：
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