加热装置制造方法及图纸

本公开提供了一种加热装置。加热装置包括：多个固定支架、多个支撑支架和加热丝；加热丝的一侧用于与基座可拆卸连接，多个固定支架分别位于基座，且位于基座和加热丝的另一侧之间，每个固定支架上设置至少两个支撑支架支撑加热丝的另一侧，每个固定支架的至少一个支撑支架穿过固定支架与基座可拆卸连接。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及半导体设备领域，特别涉及一种加热装置。

技术介绍

1、金属有机化学气相沉积(metal organic chemical vaper deposition，mocvd)设备是常见的外延材料生长设备。mocvd设备广泛用于制造高亮度发光二极管(lightemitting diode，led)和半导体激光器。

2、加热装置是mocvd设备中的关键部件。相关技术提供了一种应用在mocvd设备中的加热装置，该加热模块包括加热丝，加热丝位于基座上。

3、上述加热装置，在高温加热过程中，加热温度不均匀；加热丝受到应力，高温下会形变，影响加热装置寿命。

技术实现思路

1、本公开实施例提供了一种加热装置，可以使加热温度更均匀，加热装置寿命更长。所述技术方案如下：

2、提供了一种加热装置，所述加热装置包括：多个固定支架、多个支撑支架和加热丝；

3、所述加热丝的一侧用于与基座可拆卸连接，所述多个固定支架分别位于所述基座，且位于所述基座和所述加热丝的另一侧之间，每个所述固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加热装置，其特征在于，所述加热装置包括：多个固定支架(10)、多个支撑支架(20)和加热丝(30)；

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述固定支架(10)包括第一条状部(101)和第二条状部(102)，所述第一条状部(101)的一端与所述第二条状部(102)的一端连接，且所述第一条状部(101)和所述第二条状部(102)之间呈夹角；

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述第一条状部(101)具有2个第一通孔(1001)，所述第二条状部(102)具有2个第二通孔(1002)；

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种加热装置，其特征在于，所述加热装置包括：多个固定支架(10)、多个支撑支架(20)和加热丝(30)；

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述固定支架(10)包括第一条状部(101)和第二条状部(102)，所述第一条状部(101)的一端与所述第二条状部(102)的一端连接，且所述第一条状部(101)和所述第二条状部(102)之间呈夹角；

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述第一条状部(101)具有2个第一通孔(1001)，所述第二条状部(102)具有2个第二通孔(1002)；

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述第一通孔(1001)为圆形孔，所述第一通孔(1001)的孔径(r1)为0.5～1.5mm；所述2个第一通孔(1001)之间的距离(l1)为14～18mm；

5.根据权利要求1至4任一项所述的加热装置，其特征在于，所述固定支架(10)为氮化硼支架，所述支撑支架(20)为tzm钼支架。

6.根据权利要求1至4任一项所述的加热装置，其特征在于，所述加热丝(30)为轴对称结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴鹏宇，蒲健，康婷，
申请(专利权)人：京东方华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：