【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆运输，尤其涉及一种用于晶圆机械臂的驱动装置及晶圆运输设备。
技术介绍
1、自动存储仓库stocker是一种智能化的货物储存和管理系统，通常由计算机控制和管理。这种仓库系统采用自动化技术和设备来存储、管理和分拣货物，如传送带、机器人和自动扫描设备等。stocker可以高效地完成货物的储存、拣选和配送等工作，同时可以降低人力成本、提高物流效率，减少错误率。stocker广泛应用于电子商务、物流配送、零售、医药等行业，成为现代物流管理的重要组成部分。
2、晶圆是指在集成电路制造中使用的一种基础材料，通常是由单晶硅片制成的圆形薄片。晶圆上可以制造出微小的电子元件，如晶体管、电容器和电阻器等，是现代电子产品中不可或缺的元件。晶圆盒是一种用于存储和保护晶圆的容器。
3、晶圆盒一般的也是通过自动存储仓库stocker进行存储，但是用于存储晶圆盒的自动存储仓库stocker一般会比较狭小，存储空间有限。一般情况下为：左右两侧设置两排用于放置晶圆盒的库柜，库柜上排列设置有很多隔间以分别放置晶圆盒，其中一个隔间设置成用...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，包括安装板、第一驱动机构、第二驱动机构和主传动机构，所述主传动机构包括第一主传动部和第二主传动部；所述安装板具有相对的第一侧和第二侧；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构设于所述贯穿孔的周向的一侧；所述第二主传动部设于所述贯穿孔的轴向上。
3.根据权利要求2所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一电机和第一主动齿轮，所述第一电机的输出端与所述第一主动齿轮连接，用于驱动所述第一主动齿轮转动；所述第一主传动部的输入端为第一被动齿轮，...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，包括安装板、第一驱动机构、第二驱动机构和主传动机构，所述主传动机构包括第一主传动部和第二主传动部；所述安装板具有相对的第一侧和第二侧；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构设于所述贯穿孔的周向的一侧；所述第二主传动部设于所述贯穿孔的轴向上。
3.根据权利要求2所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一电机和第一主动齿轮，所述第一电机的输出端与所述第一主动齿轮连接，用于驱动所述第一主动齿轮转动；所述第一主传动部的输入端为第一被动齿轮，所述第一主动齿轮和所述第一被动齿轮啮合传动。
4.根据权利要求3所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述安装板水平设置，所述安装板的第一侧为所述安装板下方的一侧，所述安装板的第二侧为所述安装板上方的一侧；
5.根据权利要求2所述的用于晶圆机械臂的驱动装置，其特征在于，所述第一主传动部包括第一被动齿轮和第一减速机，所述第一减速机安装于所述安装板并位于所述安装板的第一侧，所述第一减速机的输入轴与所述第一被动齿轮连接；
【专利技术属性】
技术研发人员：蒲宗杰，赵萌，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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