【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送方法及设备，特别涉及一种停车方法、小车的在位检测方法、轨道装置及小车。
技术介绍
1、oht天车搬运系统是芯片制造过程中晶圆自动输送系统，可以高效、自动的运送晶圆，是芯片制造的重要设备。oht小车需要定期保养、故障维修等，就要将天车下放到维修站进行维修，维修完成的小车要送往天轨轨道运行，这个将小车下放至地面和送往天车轨道的装置即为oht小车提升装置。由于在下方或提升小车的过程中，提升装置并不是直接作用于小车，而是作用于承载有小车的活动轨上，通过驱动活动轨的上升或下降，即可完成对小车的下方或提升。
2、然而，专利技术人发现，由于小车在借助提升装置对活动轨实现下方之前，需要小车先行驶至天车轨道的活动轨上，因此，如何能够在检修小车时，让行驶的小车精准停靠在活动轨上，就显得尤为重要，同时，由于天车轨道上一般都会有数量小车同时行驶，有些小车是用于输送晶圆盒的，而有些小车是为了行驶到活动轨处进行检修的，因此，如何能够更好的对各小车进行控制，使得小车能够快速并准确地行驶到相应的活动轨上，是...
【技术保护点】
1.一种停车方法，其特征在于，所述停车方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的停车方法，其特征在于，各所述活动轨上均设置检测模块，任意所述检测模块均用于对所在的所述活动轨上是否存在小车进行检测；
3.根据权利要求2所述的停车方法，其特征在于，各所述检测模块包括：沿其所在的所述活动轨的长度方向依次设置的第一限位传感器、在位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器、所述在位传感器和所述第二限位传感器均用于对通过所述活动轨的小车进行检测；
4.根据权利要求3所述的停车方法，其特征在于，在实时获取天车轨道的各活动轨的状态信息之后，并在...
【技术特征摘要】
1.一种停车方法，其特征在于，所述停车方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的停车方法，其特征在于，各所述活动轨上均设置检测模块，任意所述检测模块均用于对所在的所述活动轨上是否存在小车进行检测；
3.根据权利要求2所述的停车方法，其特征在于，各所述检测模块包括：沿其所在的所述活动轨的长度方向依次设置的第一限位传感器、在位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器、所述在位传感器和所述第二限位传感器均用于对通过所述活动轨的小车进行检测；
4.根据权利要求3所述的停车方法，其特征在于，在实时获取天车轨道的各活动轨的状态信息之后，并在根据获得的各所述活动轨的状态信息，判断当前是否有所述活动轨被小车驶入之前，所述停车方法还包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的停车方法，其特征在于，在根据获得的各所述活动轨的状态信息，判断当前待驶入任意一根所述活动轨的所述小车是否需要减速的步骤中，具体包括；
6.根据权利要求1所述的停车方法，其特征在于，在实时获取天车轨道的各活动轨的状态信息之后，并在根据获得的各所述活动轨的状态信息，判断当前是否有所述活动轨被小车驶入之前，所述停车方法还包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述的停车方法，其特征在于，各所述活动轨上还设置停挡机构，所述停挡机构用于对驶入所述活动轨的所述小车进行定位，所述停挡机构还用于所述活动轨与所述固定轨完成对接时，输出电信号；
8.一种小车的在位检测方法，其特征在于，所述在位检测方法包括如下步骤：
9.根据权利要求8所述的小车的在位检测方法，其特征在于，将获得的所述轨道信息与所述检修指令中的轨道信息进行比对，判断是否继续行驶的步骤中，具体包括：
10.根据权利要求8所述的小车的在位检测方法，其特征在于，所述活动轨设置可被识别的编码图案，任意所述活动轨上的所述编码图案用于在所述小车驶入该所述活动轨时，被该所述小车识别，所述编码图案至少包含：所述活动轨的轨道信息，在获取所述活动轨的轨道信息的步骤中具体包括：
11.根据权利要求8所述的小车的在位检测方法，其特征在于，在以当前天车轨道的路径行驶...
【专利技术属性】
技术研发人员：滕焕云，赵萌，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。