【技术实现步骤摘要】
本技术的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送设备，特别涉及一种定位机构、抓取系统及晶圆传送盒。
技术介绍
1、在半导体行业中，采用自动化物料搬运系统amhs夹持晶圆传送盒foup的方式对物流输送的可靠性、稳定性和效率性有着直接影响。在现有技术中，在foup的输送方案中，大多采用对foup进行夹持输送的方式。然而技术发现，在夹持foup的过程中，由于foup的夹持均只有机械结构方面的定位反馈，从而经常会导致抓取平台对foup的夹持失败，或者夹持运输foup的过程中，foup会从抓取平台中出现脱落的现象，而此种现象的发生均是由于抓取平台在夹持foup时没有做到在夹持时对foup的精确定位，导致抓取平台在夹持foup时出现了偏差。
技术实现思路
1、为了解决上述问题或至少部分地解决上述技术问题，本技术的部分实施例设计了一种定位机构、抓取系统及晶圆传送盒，可使抓取平台在抓取foup时，可实现对foup的精确定位，从而保证了抓取平台在抓取foup时的夹持精度，有效避免了出现夹持失败的现象。
...【技术保护点】
1.一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括：
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位装置包括：
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述轴承座包括：
5.根据权利要求4所述的定位机构，其特征在于，所述弹性组件包括：
6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述环形抵接部还与所述套体隔开形成第一容置槽，所述第一容置槽用于所述第一弹簧压缩时收纳所述第一弹簧，所述第一弹簧还有部分套接于所述套体；
7.根...
【技术特征摘要】
1.一种定位机构，其特征在于，所述定位机构包括：
2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位装置包括：
3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述轴承座包括：
5.根据权利要求4所述的定位机构，其特征在于，所述弹性组件包括：
6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述环形抵接部还与所述套体隔开形成第一容置槽，所述第一容置槽用于所述第一弹簧压缩时收纳所述第一弹簧，所述第一弹簧还有部分套接于所述套体；
7.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述检...
【专利技术属性】
技术研发人员：张健强，蒲宗杰，赵萌，
申请(专利权)人：尊芯智能科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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