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本发明的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送方法及设备，特别涉及一种停车方法、小车的在位检测方法、轨道装置及小车，停车方法包括如下步骤：实时获取天车轨道的各活动轨的状态信息；根据获得的各活动轨的状态信息，判断当前是否有活动轨被小车驶入；如...
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