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本技术公开了一种用于晶圆机械臂的驱动装置及包含该驱动装置的晶圆运输设备。在驱动装置中：第一驱动机构安装于安装板下方，第一主传动部穿设安装板，其输入端位于安装板下方并与第一驱动机构连接，第一主传动部的输出端位于安装板上方并在第一驱动机构的驱动...
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