【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体工艺设备领域，特别涉及一种安全控制回路。
技术介绍
1、在半导体工艺设备中，许多操作涉及到轴运动模块及危险性化学液体和气体的控制，这些操作不仅复杂，还对设备的可靠性和人员的安全提出了极高的要求，设备在运行过程中，如果出现紧急情况，例如设备故障或发生火灾、烟雾等危险，必须能够迅速、安全地停止设备运行，以防止事故扩大和人员受伤。
2、传统的安全控制回路通常依赖于单一通道的紧急停止模块(emo)信号或plc模块进行控制，这种方式存在一定的风险，单一通道的紧急停止模块信号在故障时可能无法有效停止设备，存在安全隐患，而使用plc模块虽然可以实现一定的安全控制，但由于成本较高，不适合大规模推广应用。
3、因此，我们需要一种安全控制回路，来解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，可以使控制回路多方面进行有效保护设备安全。
技术实现思路
1、本申请的目的是解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，为了解决上述问题，本申请提供一种安全控制回路，可...
【技术保护点】
1.一种安全控制回路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块设置为双通道冗余信号分别接入所述第一安全继电器的两个输入端口。
3.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器还包括：
4.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器的输出触点与串联所述第一接触器和所述第二接触器的线圈相连，所述第二安全继电器控制设备三相电的上电和断电。
5.根据权利要求4所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块的按钮设置在所述设备
【技术特征摘要】
1.一种安全控制回路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块设置为双通道冗余信号分别接入所述第一安全继电器的两个输入端口。
3.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器还包括：
4.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器的输出触点与串联所述第一接触器和所述第二接触器的线圈相连，所述第二安全继电器控制设备三相电的上电和断电。
5.根据权利要求4所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块的按钮设置在所述设备的外部。
【专利技术属性】
技术研发人员：王忠山，温新根，徐成，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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