【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体工艺设备领域，特别涉及一种安全控制回路。
技术介绍
1、在半导体工艺设备中，许多操作涉及到轴运动模块及危险性化学液体和气体的控制，这些操作不仅复杂，还对设备的可靠性和人员的安全提出了极高的要求，设备在运行过程中，如果出现紧急情况，例如设备故障或发生火灾、烟雾等危险，必须能够迅速、安全地停止设备运行，以防止事故扩大和人员受伤。
2、传统的安全控制回路通常依赖于单一通道的紧急停止模块(emo)信号或plc模块进行控制，这种方式存在一定的风险，单一通道的紧急停止模块信号在故障时可能无法有效停止设备，存在安全隐患，而使用plc模块虽然可以实现一定的安全控制，但由于成本较高，不适合大规模推广应用。
3、因此，我们需要一种安全控制回路，来解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，可以使控制回路多方面进行有效保护设备安全。
技术实现思路
1、本申请的目的是解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，为了解决上述问题，本申请提供一种安全控制回路，可以使控制回路多方面进行有效保护设备安全。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用以下技术方案：第一安全继电器，第一安全继电器设置有多个输入触点和输出触点；紧急停止模块，紧急停止模块与第一安全继电器的输入触点连接，紧急停止模块通过数字信号输入接口向上位机传送状态，紧急停止模块还包括：紧急停止模块的指示灯，紧急停止模块的指示灯与第一安全继电器连接；紧急停止模块的启动按钮，紧急停止模块的启动按
3、在上述技术方案中，本申请实施例通过：采用第一安全继电器、第二安全继电器、第三安全继电器的设计当紧急停止模块信号出现异常或烟雾报警信号出现异常均可将设备断电，将设备进行多层冗余性的保护，解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，可以使控制回路多方面进行有效保护设备安全。
4、进一步地，根据本申请实施例，其中，紧急停止模块设置为双通道冗余信号分别接入第一安全继电器的两个输入端口。
5、进一步地，根据本申请实施例，其中，第二安全继电器还包括：
6、接通电源模块，接通电源模块的输出端连接到第二安全继电器的输入端；
7、接通电源模块的指示灯，接通电源模块的指示灯的输入端连接第二安全继电器的输出触点；
8、电源关闭模块，电源关闭模块的输出端连接到第二安全继电器的输入端；
9、第一接触器，第一接触器的输入端与第二安全继电器的输出端连接；
10、第二接触器，第二接触器的输入端与第一接触器的输出端连接，第二接触器和第一接触器串联连接在电源回路中。
11、进一步地，根据本申请实施例，其中，第二安全继电器的输出触点与串联第一接触器和第二接触器的线圈相连，第二安全继电器控制设备三相电的上电和断电。
12、进一步地，根据本申请实施例，其中，紧急停止模块的按钮设置在设备的外部。
13、进一步地，根据本申请实施例，其中，第三安全继电器设置为双稳态继电器。
14、进一步地，根据本申请实施例，其中，设备中设置有保险丝。
15、进一步地，根据本申请实施例，其中，第一安全继电器、第二安全继电器、第三安全继电器均通过独立的电源供电。
16、进一步地，根据本申请实施例，其中，紧急停止模块向第二安全继电器的线圈输入24伏电源。
17、进一步地，根据本申请实施例，其中，检测紧急停止模块通过双通道冗余信号接入第一安全继电器的输入端，当紧急停止模块的指示灯的任一通道出现异常或紧急停止模块按钮被按下时，第一安全继电器断开，设备停止运行；当烟雾报警信号和紧急停止模块的双通道正常时，烟雾报警信号控制第三安全继电器的线圈供电，复位第一安全继电器的所有触点动作，点亮紧急停止模块的指示灯，紧急停止模块通过数字信号输入接口向上位机传送紧急停止模块的状态，接通电源模块闭合并向第二安全继电器的线圈输出24v电源；第一接触器和第二接触器闭合得电，完成对设备供电。
18、与现有技术相比，本申请具有以下有益效果：采用第一安全继电器、第二安全继电器、第三安全继电器的设计当紧急停止模块信号出现异常或烟雾报警信号出现异常均可将设备断电，将设备进行多层冗余性的保护，解决控制回路保护功能单一无法有效保护设备安全的问题，可以使控制回路多方面进行有效保护设备安全。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种安全控制回路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块设置为双通道冗余信号分别接入所述第一安全继电器的两个输入端口。
3.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器还包括：
4.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器的输出触点与串联所述第一接触器和所述第二接触器的线圈相连，所述第二安全继电器控制设备三相电的上电和断电。
5.根据权利要求4所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块的按钮设置在所述设备的外部。
6.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第三安全继电器设置为双稳态继电器。
7.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述设备中设置有保险丝。
8.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第一安全继电器、所述第二安全继电器、所述第三安全继电器均通过独立的电源供电。
9.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于
10.一种安全控制回路的使用方法，其特征在于，应用于上述权利要求1-9中任一一项所述的一种安全控制回路，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种安全控制回路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块设置为双通道冗余信号分别接入所述第一安全继电器的两个输入端口。
3.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器还包括：
4.根据权利要求1所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述第二安全继电器的输出触点与串联所述第一接触器和所述第二接触器的线圈相连，所述第二安全继电器控制设备三相电的上电和断电。
5.根据权利要求4所述的一种安全控制回路，其特征在于，所述紧急停止模块的按钮设置在所述设备的外部。
【专利技术属性】
技术研发人员：王忠山，温新根，徐成，
申请(专利权)人：苏州赛森电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。