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本申请公开了一种安全控制回路，涉及半导体工艺设备领域，包括：第一安全继电器；紧急停止模块，所述紧急停止模块还包括：紧急停止模块的指示灯；第二安全继电器，所述第二安全继电器输入触点与所述第一安全继电器的输出触点连接；第三安全继电器，烟雾报警信...
该专利属于苏州赛森电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛森电子科技有限公司授权不得商用。

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