一种直写光刻机吸盘压板装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了光刻机技术领域的一种直写光刻机吸盘压板装置，包括吸盘、安装槽和支撑梁，所述吸盘的右侧壁前后两侧开有移动槽，所述移动槽的内腔底部固定连接有电动升降杆，所述电动升降杆的顶端固定连接有移动块，所述移动块滑动连接在所述移动槽的内腔，所述移动块的右侧壁之间固定连接有连接板，所述连接板的顶部前后两侧固定连接有第一气动杆，所述第一气动杆的顶端之间固定连接有第一连接杆，该直写光刻机吸盘压板装置，结构设计合理，能够对PCB板进行二次压紧固定，并且能够适用不同规格的板材，提高直写光刻机印制质量，能够实现PCB板加工后的自动出料，无需人工拿去，降低安全隐患的同时也更加省时省力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机，具体为一种直写光刻机吸盘压板装置。

技术介绍

1、pcb中文名称为印制电路板，又称印刷线路板，是重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，是电子元器件电气连接的载体，几乎每种电子设备，小到电子手表、计算器，大到计算机、通信电子设备、军用武器系统，只要有集成电路等电子元件，直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分，吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对pcb制版的实际生产制造有着重要影响。

2、现有的直写光刻机在进行pcb制版时纹路提高精度的要求，需要对工件的平整度要求极高，但是pcb板材由于材质原因，在放置到直写光刻机上后边缘位置容易翘起，从而导致直写光刻机印制出来的质量降低，并且在印制后的pcb板材需要人工从直写光刻机内部取出，取出时具有一定的危险性，并且也费时费力，为此我们提出了一种直写光刻机吸盘压板装置。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种直写光刻机吸盘压板装置，以解决上述
技术介绍
中提出了边缘位置容易翘起，取出时具有一定的危险性的问题。

2、为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：包括吸盘(100)、安装槽(200)和支撑梁(300)，所述吸盘(100)的右侧壁前后两侧开有移动槽(110)，所述移动槽(110)的内腔底部固定连接有电动升降杆(111)，所述电动升降杆(111)的顶端固定连接有移动块(112)，所述移动块(112)滑动连接在所述移动槽(110)的内腔，所述移动块(112)的右侧壁之间固定连接有连接板(120)，所述连接板(120)的顶部前后两侧固定连接有第一气动杆(121)，所述第一气动杆(121)的顶端之间固定连接有第一连接杆(122)，所述第一连接杆(122)的左侧壁上侧固定连接有第一压板(123)，所...

【技术特征摘要】

1.一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：包括吸盘(100)、安装槽(200)和支撑梁(300)，所述吸盘(100)的右侧壁前后两侧开有移动槽(110)，所述移动槽(110)的内腔底部固定连接有电动升降杆(111)，所述电动升降杆(111)的顶端固定连接有移动块(112)，所述移动块(112)滑动连接在所述移动槽(110)的内腔，所述移动块(112)的右侧壁之间固定连接有连接板(120)，所述连接板(120)的顶部前后两侧固定连接有第一气动杆(121)，所述第一气动杆(121)的顶端之间固定连接有第一连接杆(122)，所述第一连接杆(122)的左侧壁上侧固定连接有第一压板(123)，所述安装槽(200)开设在所述吸盘(100)的顶部前后两侧，所述支撑梁(300)位于所述安装槽(200)的内腔，前侧所述支撑梁(300)的的前侧壁和后侧所述支撑梁(300)的后侧壁均固定连接有轨道(310)，所述轨道(310)的外侧壁滑动连接有直线电动滑台(311)，所述直线电动滑台(311)的外侧壁固定连接有第二气动杆(320)，所述第二气动杆(320)的顶部之间固定连接有第二连接杆(321)，所述第二连接杆(321)的右侧壁上侧固定连接有第二压板(322)。

2.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述吸盘(100)的顶部右侧开有隐藏槽(130)，所述吸盘(100)的底部中间处开有底槽(140)，所述底槽(140)的内腔顶部中间处固定连接有吸气泵(141)，所述吸气泵(141)的顶部和左右侧壁固定连接有连接管(142)。

3.根据权利要求2所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述吸盘(100)的顶部内嵌有吸气管(150)，所述吸气管(150)的底部之间固定连接有连通管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯梦飞，孙行，丁宁，丁军岗，
申请(专利权)人：江苏格微晶智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：