【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光雕刻，具体为一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置。
技术介绍
1、光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻的意思是用光来制作一个图形，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程。
2、现有的光刻机虽然实现了自动化上料，但是在上料输送后需要通过机械吸盘设备将工件转移到光刻机上进行加工，这一转移工序包括上料和下料，上料和下料的效率还是不高，并且现有的光刻机每次只能够进行一次工件的加工，加工后需要在工件完成下料后才能够继续加工，不能够进行连续加工，从而影响生产效率，同时光刻机每次只能够对工件进行单面加工，全部加工完成后，还需要进行翻面进行二次加工，费时费力，为此我们提出了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种转盘式双面光刻机及其物...
【技术保护点】
1.一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，其特征在于：包括工作台(100)、支撑梁(200)、立柱(300)和控制器(400)，所述支撑梁(200)位于所述工作台(100)的顶部，所述立柱(300)固定连接在所述工作台(100)的顶部左右两侧后侧，所述控制器(400)固定连接在所述工作台(100)的顶部左侧前侧，所述工作台(100)的顶部开有通槽(110)，所述通槽(110)的内腔前后侧壁左右两侧之间转动连接有辅助辊(111)，所述工作台(100)的内腔左右侧壁前后两侧之间固定连接有第一轨道(120)，两个所述第一轨道(120)的顶部左右两侧之间固定连接有安装架(12...
【技术特征摘要】
1.一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，其特征在于：包括工作台(100)、支撑梁(200)、立柱(300)和控制器(400)，所述支撑梁(200)位于所述工作台(100)的顶部，所述立柱(300)固定连接在所述工作台(100)的顶部左右两侧后侧，所述控制器(400)固定连接在所述工作台(100)的顶部左侧前侧，所述工作台(100)的顶部开有通槽(110)，所述通槽(110)的内腔前后侧壁左右两侧之间转动连接有辅助辊(111)，所述工作台(100)的内腔左右侧壁前后两侧之间固定连接有第一轨道(120)，两个所述第一轨道(120)的顶部左右两侧之间固定连接有安装架(121)，所述安装架(121)的内侧前后侧壁开有升降槽(122)，所述升降槽(122)的内腔滑动连接有升降块(123)，所述升降块(123)的内侧壁之间转动连接有张力辊(124)，所述升降块(123)的顶部和所述升降槽(122)的内腔顶部之间固定连接有第一弹簧(125)，所述第一轨道(120)的顶部之间且位于所述安装架(121)的内侧滑动连接有电动滑台(130)，所述电动滑台(130)的顶部之间固定连接有连接板(131)，所述连接板(131)的顶部前后两侧固定连接有支撑柱(132)，所述支撑柱(132)和所述连接板(131)的之间固定连接有加固板(133)，所述支撑柱(132)的内侧壁上侧之间转动连接有移动辊(134)，所述工作台(100)的顶部左右两侧固定连接有机架(140)，所述机架(140)的内侧壁外侧之间转动连接有转动辊(141)，所述转动辊(141)、所述张力辊(124)和所述移动辊(134)的之间转动连接有输送带(142)，所述机架(140)的内侧壁前后两侧固定连接有限位杆(143)，所述机架(140)的前侧壁外侧固定连接有变频电机(144)，所述变频电机(144)的动力输出轴与所述转动辊(141)的前端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，其特征在于：所述支撑梁(200)固定连接在所述通槽(110)的内腔前后侧壁中间处之间，所述支撑梁(200)的顶部转动连接有分度盘(210)，所述支撑梁(200)的底部中间处固定连接有转动电机(220)，所述转动电机(220)的动力输出轴顶端贯穿所述支撑梁(200)并延伸至所述支撑梁(200)的顶部，且所述转动电机(220)的动力输出轴顶端固定连接在所述分度盘(210)的底部中间处。
3.根据权利要求2所述的一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，其特征在于：所述分度盘(210)的前后侧壁和左右侧壁均开有凹...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯梦飞，孙行，丁宁，丁军岗，
申请(专利权)人：江苏格微晶智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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