【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米压印，涉及一种卷对卷纳米压印装置及方法。
技术介绍
1、纳米压印是一种用于制造微纳米尺度图案的先进制造技术，广泛应用于航空航天、柔性电子、光学器件等领域。相比于传统的光刻技术，纳米压印具有高分辨率、高产量、低成本等优势。其中，辊型纳米压印是辊型模具和基底进行连续压印，包括卷对卷纳米压印和卷对平面纳米压印，相较于平面纳米压印，具有大面积纳米压印的优势。
2、根据专利调研结果，面向宏观制造工艺的模具辊设计以及平面压印脱模技术种类较多，但对于针对大面积卷对卷纳米压印的模具辊设计专利未见报道。对于纳米压印工艺，压印充型过程和脱模过程两个环节直接影响了纳米结构的转印质量。
3、已有的相关技术中，专利cn101909859a提出了一种便于模具辊更换的纳米压印模具辊，通过流体容器中的弹性膜膨胀与收缩，实现模具辊的装卸与固定，并保持被转印膜的厚度均匀，但无法在特定位置提供正负压以促进压印和脱模，存在局限性。专利cn101249938a公开了一种基于气动的微纳米压印脱模结构，通过聚合物夹紧罩构成一个封闭的空间，通...
【技术保护点】
1.一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，该装置包括压印辊(5)、模具辊(6)、辅助压印辊组(7)和脱模辊(8)，所述模具辊(6)分别于入卷处和收卷处与压印辊(5)和脱模辊(8)配合，所述模具辊(6)通过气流调节器与双向气泵连接，通过双向气泵和气流调节器调节模具辊(6)的吸附状态进行正负压气体辅助充型和脱模，所述压印辊(5)和脱模辊(8)均与气泵连接，所述辅助压印辊组(7)上设置有UV固化模块(702)；
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，所述模具辊(6)内设置有气体管路和驱动模组，所述模具辊(6)通过气体管路与气流调节器连接，所述...
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，该装置包括压印辊(5)、模具辊(6)、辅助压印辊组(7)和脱模辊(8)，所述模具辊(6)分别于入卷处和收卷处与压印辊(5)和脱模辊(8)配合，所述模具辊(6)通过气流调节器与双向气泵连接，通过双向气泵和气流调节器调节模具辊(6)的吸附状态进行正负压气体辅助充型和脱模，所述压印辊(5)和脱模辊(8)均与气泵连接，所述辅助压印辊组(7)上设置有uv固化模块(702)；
2.根据权利要求1所述的一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，所述模具辊(6)内设置有气体管路和驱动模组，所述模具辊(6)通过气体管路与气流调节器连接，所述气流调节器与双向气泵连接，所述模具辊(6)通过驱动模组带动转动。
3.根据权利要求2所述的一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，所述模具辊(6)的外表面分布有模版区(612)，该模版区(612)外分布有模具吸孔区(611)，所述模版区(612)将纳米结构转印于基材膜(4)上，所述模具吸孔区(611)连通模具辊(6)的气体管路进行气流流动，调节模具辊(6)的吸附状态。
4.根据权利要求3所述的一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，所述模具吸孔区(611)和模版区(612)呈轴向或周向间隔分布。
5.根据权利要求3所述的一种卷对卷纳米压印装置，其特征在于，所述模具辊(6)的气体管路通过气体导路与模具吸孔区(611)连通，所述气体导路沿模具辊(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾永宁，李奕然，邓宇君，彭林法，易培云，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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