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一种卷对卷纳米压印装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:43956890
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本发明涉及一种卷对卷纳米压印装置及方法,装置包括压印辊、模具辊、辅助压印辊组和脱模辊,模具辊分别于入卷处和收卷处与压印辊和脱模辊配合,模具辊通过气流调节器与双向气泵连接,通过双向气泵和气流调节器调节模具辊的吸附状态进行正负压气体辅助充型和脱...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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